杭州富芯半导体有限公司李才俊获国家专利权
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龙图腾网获悉杭州富芯半导体有限公司申请的专利测量装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223332346U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-12发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422900723.9,技术领域涉及:G01B11/06;该实用新型测量装置是由李才俊设计研发完成,并于2024-11-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本测量装置在说明书摘要公布了:本实用新型涉及一种测量装置,涉及半导体技术领域,该测量装置包括底座、调节组件、承载装置以及测量组件,底座用于承载调节组件、承载装置以及测量组件。其中,调节组件可以通过调整承载装置的位置来调整位于承载装置上的待测晶圆的位置,使得测量组件可以对待测晶圆进行多点位测量。此外,承载装置可以对待测晶圆进行固定,减少了测量装置的测量误差,提高了测量装置的测量精度。
本实用新型测量装置在权利要求书中公布了:1.一种测量装置,其特征在于,包括: 底座、调节组件、承载装置以及测量组件,所述底座用于承载所述调节组件、所述承载装置以及所述测量组件; 所述底座具有第一滑槽; 所述调节组件位于所述第一滑槽内,用于调整待测晶圆的位置; 所述承载装置位于所述调节组件与所述待测晶圆之间,用于承载所述待测晶圆,并对所述待测晶圆进行固定; 所述测量组件位于所述待测晶圆的远离所述承载装置的一侧,用于测量所述待测晶圆。
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