买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉北京航空航天大学申请的专利一种FIB-SEM双束同步可控加工柔性材料的优化方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119626876B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411707281.4，技术领域涉及：H01J37/305；该发明授权一种FIB-SEM双束同步可控加工柔性材料的优化方法是由李文萍;赵利荣;芮李钰珩;李俊熠;刘丁旭;吴璇设计研发完成，并于2024-11-27向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种FIB-SEM双束同步可控加工柔性材料的优化方法在说明书摘要公布了：本发明涉及FIB‑SEM双束同步可控加工柔性材料的优化方法及其用途。本发明的FIB‑SEM双束同步可控加工柔性材料的优化方法包括表面清洁步骤、扫描电子显微镜成像步骤、双束对中调节步骤以及刻蚀步骤，所述刻蚀步骤中，离子束加工和电子束成像同时工作，电子束成像在预设加工图形后且离子束开始加工前开启，在加工完成后快速关断。本发明的FIB‑SEM双束同步可控加工柔性材料的优化方法能够避免材料由于高能粒子束轰击生热引起的变形，从而导致的性能降低，同时保持刻蚀过程的可靠性。

本发明授权一种FIB-SEM双束同步可控加工柔性材料的优化方法在权利要求书中公布了：1.一种FIB-SEM双束同步可控加工柔性材料的优化方法，其特征在于， 所述材料的热导率为0.2WmK以下， 所述方法包括以下步骤： 表面清洁步骤：通过化学或者物理方法清洁所述材料的表面的步骤； 扫描电子显微镜成像步骤：将所述材料置于FIB-SEM双束显微镜的样品室内，调节扫描电子显微镜的加速电压和束流进行表面成像，并选取特征点标记和调整物镜电气参数实现不同放大倍数下清晰成像，获取所述材料的表面的初始形貌信息的步骤； 双束对中调节步骤：在所述材料扫描电子显微镜清晰成像的基础上，调节聚焦离子束的加速电压和束流进行离子束成像，找到特征点标记和调节静电透镜的电气参数实现不同放大倍数下清晰成像，然后反复切换聚焦离子束与扫描电子显微镜的成像窗口，保证相同放大倍数下特征点标记分别位于FIB像和SEM像的视野中心，找到聚焦离子束、扫描电子显微镜与所述材料的结合点，实现双束对中调节； 刻蚀步骤：切换至离子束窗口预设加工图形，调整聚焦离子束扫描方式、剂量和加工时间以及扫描电子显微镜的扫描方式，边利用扫描电子显微镜对加工区域进行成像以实时观测加工过程、形貌变化，边利用聚焦离子束进行刻蚀加工； 所述刻蚀步骤中，离子束加工和电子束成像同时工作、电子束成像在预设加工图形后且离子束开始加工前开启， 所述刻蚀步骤中，离子束加工完成后快速关断电子束成像。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人北京航空航天大学，其通讯地址为：100083 北京市海淀区学院路37号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。