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龙图腾网获悉佛山易事达电容材料有限公司申请的专利一种基于光学测量的金属薄膜尺寸测量方法及系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119618063B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411866322.4，技术领域涉及：G01B11/00；该发明授权一种基于光学测量的金属薄膜尺寸测量方法及系统是由钟秀珍;庞浩荣;梁红兰设计研发完成，并于2024-12-18向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种基于光学测量的金属薄膜尺寸测量方法及系统在说明书摘要公布了：本发明涉及光学测量技术领域，公开了一种基于光学测量的金属薄膜尺寸测量方法及系统，包括：通过多波长激光器照射金属薄膜，产生干涉信号；对入射光线的波长进行注意力的调制，通过滑动时间窗口分别对不同波长的注意力进行调整；在每个时间窗口中得到干涉条纹，并根据所述干涉条纹得到每个时间窗口的测量结果；根据所述时间窗口的测量结果进行聚类选择，利用选择结果进行重新测量，得到最终的测量结果。能够有效提高金属薄膜尺寸的测量精度和稳定性。通过动态调整不同波长的注意力，结合聚类选择与重新测量过程选择到对参数敏感的波长，保证了最终测量结果的可靠性，满足了现代精密制造和质量控制对薄膜尺寸测量的高要求。

本发明授权一种基于光学测量的金属薄膜尺寸测量方法及系统在权利要求书中公布了：1.一种基于光学测量的金属薄膜尺寸测量方法，其特征在于，包括： 通过多波长激光器照射金属薄膜，产生干涉信号； 对入射光线的波长进行注意力的调制，通过滑动时间窗口分别对不同波长的注意力进行调整； 在每个时间窗口中得到干涉条纹，并根据所述干涉条纹得到每个时间窗口的测量结果； 根据所述时间窗口的测量结果进行聚类选择，利用选择结果进行重新测量，得到最终的测量结果； 所述对入射光线的波长进行注意力的调制包括，对N个不同波长的分析结果进行加权； 随机从N个不同波长的干涉信号中，选取一个波长设为m； 得到每个波长的激光产生的干涉条纹图样后，将每个波长对应的所述干涉条纹图样进行解析，对每个波长的解析结果进行集成； 在集成时，对波长m对应的解析结果进行注意力加权处理； 其中，解析过程包括，通过对干涉条纹的边缘位置和形态进行表面拟合，得到薄膜的表面形态特征；利用干涉条纹的间距、薄膜的厚度、折射率、入射角、光波的波长进行计算，得到厚度信息； 所述通过滑动时间窗口分别对不同波长的注意力进行调整包括，设固定的时间窗口长度，每个时间窗口都随机选取一个波长，使其对应的解析结果进行注意力加权处理； 在选取波长时的约束为：连续的N个时间窗口中，选择的波长均不相同； 所述每个时间窗口的测量结果包括，对每个时间窗口中，N个波长对应的所述解析结果进行加权；设，表示权重系数，若n对应未加权的波长对应的解析结果，则；若n对应加权的波长对应的解析结果，则；M表示加权系数，且M＞2；i∈{C，K，G}，C表示金属薄膜的长，K表示金属薄膜的宽，G表示金属薄膜的厚度； 针对每一个金属薄膜的参数i，按照权重系数复制被加权的波长对应的解析结果为M个，与其他N-1个波长对应的解析结果构成参数集合，作为所述测量结果； 根据所述时间窗口的测量结果进行聚类选择包括，从当前的时间序列中，向前获取连续的N个时间窗口，在任意一个时间窗口中，针对每一个金属薄膜的参数i，分别进行聚类选择； 所述聚类选择包括，对所述测量结果进行聚类，若只有一个聚类中心，则判断当前窗口注意力加权的波长，对于金属薄膜参数i的测量结果满足判据；反之，则判断不满足判据； 所述重新测量包括，在N个不同的波长中，去除不满足判据的波长k条，若剩余的波长数量小于N2，则随机选取k条其他波长，在滑动时间窗口对重新选择的波长进行干涉条纹的解析和聚类选择，直至去除不满足判据的波长后，剩余的波长不小于N2为止；得到满足判据的波长对应关于参数i的解析结果，进行输出； 其中，所述k条其他波长，不包含已去除的波长；所述重新选择的波长包括，剩余满足判据的波长和新增的k条其他波长。

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