买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉南昌中微半导体设备有限公司;中微半导体设备(上海)股份有限公司申请的专利一种射频发生器、半导体处理设备及使用方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119382671B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411969617.4，技术领域涉及：H03K3/57；该发明授权一种射频发生器、半导体处理设备及使用方法是由徐志鹏;常健;王亚军设计研发完成，并于2024-12-30向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种射频发生器、半导体处理设备及使用方法在说明书摘要公布了：本发明公开一种射频发生器、半导体处理设备及使用方法，所述射频发生器，包括：电容器；高压电源，其正极与电容器的第一极板连接，其负极与电容器的第二极板连接，其用于对电容器充电；电容器充电完成后输出直流电压信号，直流电压信号的电压值大于1KV；第一开关，其正极与负载连接，其负极与第二极板连接；第一开关以预设频率进行断开和闭合，以将直流电压信号变换为第一高频高压脉冲信号并施加至负载；且预设频率不小于400KHZ，第一开关的额定电压大于1KV；第一二极管，其正极与第一开关和负载的连接线连接，其负极连接第一电位接点；第一二极管用于在第一开关断开时释放连接线上产生的第一反向电压。

本发明授权一种射频发生器、半导体处理设备及使用方法在权利要求书中公布了：1.一种射频发生器，其特征在于，包括： 电容器，其包括相对设置的第一极板和第二极板；所述第一极板接地； 高压电源，其正极与所述第一极板连接，其负极与所述第二极板连接；所述高压电源用于对所述电容器充电，且所述电容器充电完成后输出直流电压信号，所述直流电压信号的电压值大于1KV； 第一开关，其正极与一负载连接，其负极与所述第二极板连接；所述第一开关以预设频率进行断开和闭合，以将所述直流电压信号变换为第一高频高压脉冲信号并施加至所述负载；所述负载为反应腔内的基座；且所述预设频率不小于400KHZ，所述第一开关的额定电压大于1KV； 第一二极管，其正极与所述第一开关的正极和所述负载之间的连接线连接，其负极连接第一电位接点；所述第一二极管用于在所述第一开关断开时释放所述连接线上产生的第一反向电压； 还包括：第二二极管，其正极与所述第二极板连接，其负极与所述第一二极管的正极连接，用于在所述高压电源极性接反时释放所述电容器放电产生的第二反向电压，且第二反向电压通过所述第二二极管和所述第一二极管向所述第一电位接点释放；或者所述第二二极管的负极接第二电位接点，且所述高压电源极性接反时所述电容器放电产生的第二反向电压通过所述第二二极管向所述第二电位接点释放； 还包括：第一限流电阻，串联在所述第一开关和所述电容器之间，用于将流经所述第一开关的电流限制在预设范围内。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人南昌中微半导体设备有限公司;中微半导体设备(上海)股份有限公司，其通讯地址为：330096 江西省南昌市高新技术产业开发区天祥大道699号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。