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龙图腾网获悉合肥大学申请的专利一种陶瓷多层膜镀膜装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119843235B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510314970.7，技术领域涉及：C23C14/35；该发明授权一种陶瓷多层膜镀膜装置是由余洋;明飞;梅琳;孙矗丽;鲁翠萍设计研发完成，并于2025-03-18向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种陶瓷多层膜镀膜装置在说明书摘要公布了：本发明公开了一种陶瓷多层膜镀膜装置，属于镀膜技术领域，解决了现有装置靶材的位置相对固定，无法根据基材多层镀膜需求进行灵活调整切换，影响镀膜的均匀性和一致性的问题，包括装置主体、基材放置组件、溅射靶材部、辅助调整组件，镀膜箱内设置有镀膜室、驱动盖板，靶材切换部包括切换电机、切换联动部、靶材导向座、切换推杆、间歇导电件；本发明中设置有靶材切换部以及辅助调整组件，靶材切换部的自动切换机制使得不同类型的溅射靶基材能够灵活地移动到正对陶瓷基材上方的位置，无需停机即可完成切换。协同配合的靶材切换部和辅助调整组件能够确保溅射粒子以最佳能量和角度沉积在基材表面。增强了膜层与基材之间的附着力。

本发明授权一种陶瓷多层膜镀膜装置在权利要求书中公布了：1.一种陶瓷多层膜镀膜装置，其特征在于，包括： 装置主体，装置主体包括镀膜箱，镀膜箱内设置有镀膜室、驱动盖板； 可移动的基材放置组件，所述基材放置组件设置于镀膜室底部，用于承托镀膜基材； 至少一组溅射靶材部，所述溅射靶材部设置在镀膜室顶部，溅射靶材部连接有靶材切换部，靶材切换部设置于驱动盖板内，用于切换调整溅射靶材部的位置； 辅助调整组件，所述辅助调整组件安装在驱动盖板上，辅助调整组件分别与溅射靶材部、基材放置组件连接，辅助调整组件用于辅助调整所述溅射靶材部、基材放置组件的位置； 其中，靶材切换部包括切换电机、切换联动部、靶材导向座、切换推杆、间歇导电件，切换电机固定安装在驱动盖板上，靶材导向座固定设置于驱动盖板内侧，并承托所述切换联动部，切换推杆固定于靶材导向座内，且切换推杆与间歇导电件固定连接，间歇导电件与溅射靶材部导电连接； 所述切换联动部包括： 第一齿轮，所述第一齿轮转动安装在驱动盖板内，第一齿轮的一侧与切换电机的输出端固定连接； 至少一组第二齿轮，所述第二齿轮转动设置在靶材导向槽内，靶材导向槽开设于靶材导向座内，第二齿轮之间啮合传动，且任一一组所述的第二齿轮与第一齿轮啮合传动； 至少一组靶材容纳槽，靶材容纳槽开设在所述第二齿轮内，靶材容纳槽内滑动安装有连接滑块，连接滑块的底部通过连接导向条与靶材导向槽滑动连接，连接滑块的顶部可拆卸连接有溅射靶材部； 所述溅射靶材部包括： 靶材导电座，所述靶材导电座与连接滑块可拆卸连接，靶材导电座远离连接滑块的一端转动连接有靶材保护座； 第三齿轮，所述第三齿轮固定套设于靶材保护座底部； 第四齿轮，第四齿轮转动设置于靶材导向座内，且第四齿轮与第三齿轮之间啮合传动，第四齿轮还与辅助调整组件连接； 靶材安装座，所述靶材安装座可拆卸安装在靶材保护座内，靶材安装座内可拆卸安装有溅射靶基材； 靶材保护部，所述靶材保护部设置于靶材保护座内，靶材保护部用于保护溅射靶基材； 所述辅助调整组件包括： 辅助电机，所述辅助电机固定安装在驱动盖板上； 与辅助电机输出端固定连接的辅助驱动轴，所述辅助驱动轴远离辅助电机的一端延伸至镀膜室内，并与基材放置组件连接； 辅助联动部，所述辅助联动部与辅助驱动轴连接，辅助联动部用于驱动第四齿轮，辅助联动部包括第一转轮、第二转轮和传动带，所述第一转轮固定套设在辅助驱动轴的外壁，第二转轮转动安装在驱动盖板上，第二转轮通过连接杆与第四齿轮固定连接，第一转轮与第二转轮之间通过传动带转动连接； 加热调整部，所述加热调整部设置于镀膜室内，加热调整部包括第五齿轮、联动齿圈，联动齿圈转动安装在镀膜室内，且镀膜室内周向设置有至少一组电加热棒，电加热棒可拆卸安装在联动齿圈内，联动齿圈的一侧与第五齿轮啮合传动，第五齿轮固定套设于辅助驱动轴上。

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