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龙图腾网获悉杭州阿童木科技有限公司申请的专利一种化学气相沉积后硅片连续反应冷却装置及冷却方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120174340B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510335122.4，技术领域涉及：C23C16/44；该发明授权一种化学气相沉积后硅片连续反应冷却装置及冷却方法是由郑一格;吴波睿;刘祺设计研发完成，并于2025-03-20向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种化学气相沉积后硅片连续反应冷却装置及冷却方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种化学气相沉积后硅片连续反应冷却装置及冷却方法，涉及半导体生产制造技术领域，包括：底座，底座顶面固定安装有工作台，底座侧壁固定安装有连接板和处理器，底座顶面设有两个支架，支架右侧壁固定安装有固定板，固定板顶面中心处固定安装有石墨放置座二，本发明中，通过喷气头一和喷气头二喷出的冷却气体对硅片进行非接触式夹持冷却，有效避免了传统机械手直接夹取高温硅片可能引发的硅片损坏以及污染问题，极大地提高了硅片冷却过程的安全性和清洁度，保障了硅片的品质，同时，利用激光测距仪与反射板的配合，以及处理器对数据的处理和对排气泵的精准调控，实现了根据硅片冷却状态动态调整冷却气体流量和压力。

本发明授权一种化学气相沉积后硅片连续反应冷却装置及冷却方法在权利要求书中公布了：1.一种化学气相沉积后硅片连续反应冷却装置，其特征在于，包括： 底座（1），底座（1）顶面固定安装有工作台（2），底座（1）侧壁固定安装有连接板（3）和处理器（7），底座（1）顶面设有两个支架（4），支架（4）右侧壁固定安装有固定板（36），固定板（36）顶面中心处固定安装有石墨放置座二（37），工作台（2）前侧壁固定安装有配电箱（5），配电箱（5）一侧设有控制器（6），连接板（3）顶面固定安装有机械夹爪（8），机械夹爪（8）末端夹持石墨放置座一（9）且其上设有用于放置高温硅片的凹槽； 工作台（2）上通过移动组件安装有移动板（10），移动板（10）顶面固定安装有机械臂（11），机械臂（11）输出端固定安装有喷气头一（12），喷气头一（12）侧壁固定安装有反射板（13），工作台（2）后侧壁固定安装有储存箱（14）、排气泵（15），储存箱（14）与排气泵（15）间设有连接管一（16），排气泵（15）与喷气头一（12）间设有连接管二（17），支架（4）上通过驱动组件安装有驱动板（18），驱动板（18）顶面开设有圆槽（19），驱动板（18）顶面固定安装有凹形板（20），凹形板（20）底面固定安装有电推杆（21），电推杆（21）输出轴固定安装有喷气头二（22），喷气头二（22）底面固定安装有激光测距仪（23），喷气头二（22）一侧设有与连接管二（17）连通的连接管三（24），连接管三（24）内设有球阀。

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