深圳中科飞测科技股份有限公司黄有为获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳中科飞测科技股份有限公司申请的专利照明模式切换方法、检测方法、检测系统及存储介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119987002B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510461261.1，技术领域涉及：G02B21/06；该发明授权照明模式切换方法、检测方法、检测系统及存储介质是由黄有为;宋博文;陶陶;陈鲁设计研发完成，并于2025-04-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本照明模式切换方法、检测方法、检测系统及存储介质在说明书摘要公布了：本申请公开了一种照明模式切换方法、检测方法、检测系统及存储介质，属于半导体检测技术领域。所述方法包括：响应于第一信号，控制照明模式切换为第一照明模式，以对载物台上所承载的参考物进行均匀照明，第一信号用于指示检测系统需要进行寻焦；响应于第二信号，控制照明模式切换为第二照明模式，以照亮目标区域并对载物台上所承载的待测物进行光瞳滤波适配，第二信号用于指示寻焦完成；接收第三信号，并控制照明模式切换为第三照明模式，以对待测物进行扫描成像，第三信号用于指示对待测物的光瞳滤波适配完成。本申请能够针对不同的工作场景进行照明模式的切换，从而满足不同工作场景下的照明需求，实现检测性能的提高。
本发明授权照明模式切换方法、检测方法、检测系统及存储介质在权利要求书中公布了：1.一种照明模式切换方法，其特征在于，所述方法包括： 响应于第一信号，控制照明模式切换为第一照明模式，以对载物台上所承载的参考物进行均匀照明，所述第一信号用于指示检测系统需要基于所述参考物进行寻焦，所述第一照明模式的照明光斑为面照明光斑； 响应于第二信号，控制所述照明模式切换为第二照明模式，以照亮目标区域并对所述载物台上所承载的待测物进行光瞳滤波适配，所述第二信号用于指示寻焦完成，所述目标区域为所述待测物的部分区域，所述第二照明模式的照明光斑为局部照明光斑； 接收第三信号，并控制所述照明模式切换为第三照明模式，以对所述待测物进行扫描成像，所述第三信号用于指示对所述待测物的光瞳滤波适配完成，所述第三照明模式的照明光斑为线照明光斑。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人深圳中科飞测科技股份有限公司，其通讯地址为：518000 广东省深圳市龙华区观澜街道新澜社区观光路1301-14号101、102；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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