成都云绎智创科技有限公司罗伟获国家专利权
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龙图腾网获悉成都云绎智创科技有限公司申请的专利晶圆承载机构及晶圆测试设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120102944B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510586332.0，技术领域涉及：G01R1/04；该发明授权晶圆承载机构及晶圆测试设备是由罗伟;叶小波;杜春设计研发完成，并于2025-05-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆承载机构及晶圆测试设备在说明书摘要公布了：本发明公开了一种晶圆承载机构及晶圆测试设备，涉及晶圆测试设备技术领域，其中，该晶圆承载机构包括载物台、卡盘和多个调节组件；载物台开设有槽口朝上设置的安装槽；卡盘安装于安装槽内，卡盘开设有通孔，通孔的孔壁沿其周向间隔设置有多个支撑凸起，多个支撑凸起用于支撑放置于通孔处的晶圆，卡盘的顶部对应各支撑凸起的位置滑动连接有滑板；多个调节组件环绕安装槽间隔设置于载物台；多个调节组件用于带动对应的滑板相对卡盘沿通孔的径向滑动至与晶圆的外缘抵接或脱离，以对应使多个滑板配合将晶圆夹紧或放松。本发明的晶圆承载机构，确保晶圆底面的每一个PAD点都能露出以便于检测，提高了检测完整性，测试效果更好。
本发明授权晶圆承载机构及晶圆测试设备在权利要求书中公布了：1.一种晶圆承载机构，其特征在于，包括： 载物台，所述载物台开设有槽口朝上设置的安装槽； 卡盘，所述卡盘安装于所述安装槽内，所述卡盘开设有通孔，所述通孔的孔壁沿其周向间隔设置有多个支撑凸起，多个所述支撑凸起用于支撑放置于所述通孔处的所述晶圆，所述卡盘的顶部对应各所述支撑凸起的位置滑动连接有滑板；所述滑板朝向所述通孔的一侧设置为弧形并与所述晶圆的外缘相互匹配，所述滑板朝向所述通孔的一侧形成弧形抵接面，各所述弧形抵接面朝远离所述通孔的方向凹陷，且各所述弧形抵接面自上至下朝远离所述通孔的方向倾斜； 多个调节组件，多个所述调节组件环绕所述安装槽间隔设置于所述载物台，并与所述滑板的数量一致且一一对应设置；多个所述调节组件用于带动对应的所述滑板相对所述卡盘沿所述通孔的径向滑动至与所述晶圆的外缘抵接或脱离，以对应使多个所述滑板配合将所述晶圆夹紧或放松。
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