浙江晶盛光子科技有限公司王树林获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江晶盛光子科技有限公司申请的专利一种反应腔室和镀膜工艺方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120272882B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510764949.7，技术领域涉及：C23C16/455；该发明授权一种反应腔室和镀膜工艺方法是由王树林;仇大为;李玉设计研发完成，并于2025-06-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种反应腔室和镀膜工艺方法在说明书摘要公布了：本发明提供了一种反应腔室，属于镀膜设备技术领域，用于容置电池硅片，通过输入工艺气体对电池硅片进行ALD镀膜，所述反应腔室包括：外腔体，所述外腔体构建有一可容置工艺气体的反应腔，且所述工艺气体在反应腔内形成一个反应区，以对所述反应区内的电池硅片进行镀膜；加热件，所述加热件设置在反应腔中，用于加热所述反应区内的电池硅片；以及气帘单元，所述气帘单元通过在所述反应腔中进出气体使得气帘单元在所述反应腔中形成气帘，其中，所述气帘设置在所述反应区的外侧，通过所述气帘限制所述反应区在所述反应腔中的范围；达到提高反应腔室对电池硅片的加热效率。
本发明授权一种反应腔室和镀膜工艺方法在权利要求书中公布了：1.一种反应腔室，用于容置电池硅片，通过输入工艺气体对电池硅片进行镀膜，其特征在于，所述反应腔室包括： 外腔体100，所述外腔体100构建有一可容置工艺气体的反应腔，且所述工艺气体在反应腔内形成一个反应区700，以对所述反应区700内的电池硅片进行镀膜； 加热件200，所述加热件200设置在反应腔中，所述加热件200贴着反应腔的内壁设置，用于加热所述反应区700内的电池硅片；以及 气帘单元300，所述气帘单元300通过在所述反应腔中进出气体使得气帘单元300在所述反应腔中形成气帘310，所述气帘单元300位于所述加热件（200）和所述反应区700之间；其中，所述气帘310设置在所述反应区700的外侧，通过所述气帘310限制所述反应区700在所述反应腔中的范围。
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