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龙图腾网获悉北京阿法龙科技有限公司申请的专利联合测试系统、碳化硅超表面光栅检测方法及测试装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120294016B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510788622.3，技术领域涉及：G01N21/95；该发明授权联合测试系统、碳化硅超表面光栅检测方法及测试装置是由徐培培设计研发完成，并于2025-06-13向国家知识产权局提交的专利申请。

本联合测试系统、碳化硅超表面光栅检测方法及测试装置在说明书摘要公布了：本发明公开了联合测试系统、碳化硅超表面光栅检测方法及测试装置，属于半导体检测技术领域。通过调控光源与微波源生成协同激励信号，施加于待测碳化硅超表面光栅形成光强与微波场干涉图样。多通道同步采集数据，经时间对齐、标记物特征提取及坐标映射构建多维矩阵，提取缺陷特征建立基准模型，计算偏离度判定质量，对缺陷光栅通过筛选异常点、构建候选区域及耦合验证划分潜在缺陷区域。针对潜在缺陷区域，以梯度下降算法动态调整激励参数，结合特征缺陷度与面积划分缺陷等级。本发明解决了单一模态检测不足、多模态对齐精度低及激励参数盲目调整问题，实现跨频段协同检测与智能分级，提升检测可靠性。

本发明授权联合测试系统、碳化硅超表面光栅检测方法及测试装置在权利要求书中公布了：1.联合测试系统，其特征在于，包括 获取光波激励信号和微波激励信号的初始激励参数，调控光波源和微波源生成协同激励信号，所述协同激励信号用于施加于待测碳化硅超表面光栅以形成干涉图样； 通过探测器对所述干涉图样进行多通道同步多次采集，以获取多个干涉图样数据并进行预处理，所述干涉图样数据包括光强分布数据与微波场强数据； 所述预处理用于对所述干涉图样数据进行时间维度对齐，并通过对所述待测碳化硅超表面光栅上配置的标记物进行特征点提取，以映射匹配干涉图样数据坐标，构建多维数据矩阵； 从所述多维数据矩阵中提取缺陷特征构建多维特征矩阵，通过建立特征基准模型，计算待测碳化硅超表面光栅的偏离度指标，以进行初步质量评估，对判定存在缺陷的待测碳化硅超表面光栅通过多轮次筛选稳定异常点、边缘检测构建候选缺陷连通域、进行区域生长并结合异常耦合性验证划分潜在缺陷区域； 若识别到潜在缺陷区域，则根据所述潜在缺陷区域的信息，动态调整光波激励信号和微波激励信号的初始激励参数，以更新调整协同激励信号调控干涉图样，获取更新后的干涉图样数据并进行深度质量评估，以划分缺陷等级。

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