中国科学院合肥物质科学研究院周卫云获国家专利权
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龙图腾网获悉中国科学院合肥物质科学研究院申请的专利等离子体发生装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120358657B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510838310.9，技术领域涉及：H05H1/24；该发明授权等离子体发生装置是由周卫云;杨鑫;周海山;李宇;慕香红;罗广南设计研发完成，并于2025-06-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本等离子体发生装置在说明书摘要公布了：本发明涉及等离子体源技术领域，公开了一种等离子体发生装置，包括：阳极部，阳极部包括相互连接的壳体和阳极法兰，壳体内形成有相互连通的电离腔和等离子通道；阴极部，阴极部包括阴极法兰和两个加热电极，两个加热电极分别连接有间隔设置的第一六硼化镧片和第二六硼化镧片，第一六硼化镧片和第二六硼化镧片之间通过石墨连接块连接，阴极部还包括进气部，进气部向电离腔充入电离气体。本申请的阴极采用加热电极直接与六硼化镧部两端连接，六硼化镧部整体均匀升温，避免了传统弯曲结构的热应力集中问题，降低了材料碎裂风险，保证了六硼化镧部可靠性，进一步提高了等离子体发生装置整体的寿命。
本发明授权等离子体发生装置在权利要求书中公布了：1.一种等离子体发生装置，其特征在于，包括： 阳极部，所述阳极部包括相互连接的壳体和阳极法兰，所述壳体内形成有相互连通的电离腔和等离子通道，所述等离子通道设于所述电离腔远离所述阳极法兰的一端以供所述电离腔内的等离子体移动； 阴极部，所述阴极部包括阴极法兰和穿设固定于所述阴极法兰的两个加热电极，所述阴极法兰与所述阳极法兰密封连接以形成所述电离腔，两个所述加热电极进入所述电离腔的一端并分别连接有间隔设置的第一六硼化镧片和第二六硼化镧片，所述第一六硼化镧片和所述第二六硼化镧片之间通过石墨连接块连接，所述阴极部还包括进气部，所述进气部穿设于所述阴极法兰以向所述电离腔充入电离气体； 所述第一六硼化镧片和所述第二六硼化镧片均包括依次连接的第一连接部、电离部和第二连接部，所述第一连接部连接所述加热电极，所述第二连接部连接所述石墨连接块，所述电离部沿所述电离腔的长度方向回转设置。
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