昆山协鑫光电材料有限公司请求不公布姓名获国家专利权
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龙图腾网获悉昆山协鑫光电材料有限公司申请的专利一种刻蚀方法、刻蚀装置及太阳能电池组件获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120390568B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-12发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510873746.1,技术领域涉及:H10K71/20;该发明授权一种刻蚀方法、刻蚀装置及太阳能电池组件是由请求不公布姓名设计研发完成,并于2025-06-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种刻蚀方法、刻蚀装置及太阳能电池组件在说明书摘要公布了:本发明实施例公开了一种刻蚀方法、刻蚀装置及太阳能电池组件。该刻蚀方法包括:控制光斑重叠率小于预设重叠率;生成预设性能参数的激光;将激光整形为矩形平顶光;将矩形平顶光聚焦为预设尺寸的光斑,根据光斑重叠率对待刻蚀电池中钙钛矿功能层进行刻蚀。本发明实施例的技术方案,设置刻蚀方法,采用点接触刻蚀钙钛矿功能层,激光光束采用矩形平顶光,每个脉冲独立作用在膜层上,对待刻蚀电池中钙钛矿功能层进行单脉冲刻蚀,避免光脉冲重叠区域热量累积,更有利于电极沉积。
本发明授权一种刻蚀方法、刻蚀装置及太阳能电池组件在权利要求书中公布了:1.一种刻蚀方法,其特征在于,所述刻蚀方法用于对待刻蚀电池的钙钛矿功能层进行刻蚀;所述刻蚀方法包括步骤: 控制光斑重叠率小于预设重叠率; 生成预设性能参数的激光; 将所述激光整形为矩形平顶光; 将所述矩形平顶光聚焦为预设尺寸的光斑,根据所述光斑重叠率对所述待刻蚀电池中所述钙钛矿功能层进行刻蚀; 所述控制光斑重叠率小于预设重叠率,包括: 根据最小电极宽度和单条子电池的长度,确定最小电极接触面积; 根据所述最小电极接触面积确定所述单条子电池的长度需要的脉冲数量; 调节光斑重复频率和线速度,使所述脉冲数量小于预设脉冲数量; 根据使所述脉冲数量小于预设脉冲数量的光斑重复频率和线速度,确定光斑重叠率。
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