中国科学院上海光学精密机械研究所路晴获国家专利权
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龙图腾网获悉中国科学院上海光学精密机械研究所申请的专利一种大口径高陡度非球面石英玻璃超光滑抛光方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120395614B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510910315.8，技术领域涉及：B24B13/01；该发明授权一种大口径高陡度非球面石英玻璃超光滑抛光方法是由路晴;万嵩林;胡晨;魏朝阳;邵建达设计研发完成，并于2025-07-02向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种大口径高陡度非球面石英玻璃超光滑抛光方法在说明书摘要公布了：一种大口径高陡度非球面石英玻璃超光滑抛光方法，包括以下步骤：1）根据待加工非球面元件方程给出加工程序文件；2）确定抛光路径、抛光时间、抛光负载等参数；3）机械作用为主的粗抛和精抛加工；4）以化学机械作用为主要特征，去除亚表面损伤层的超光滑预抛光工艺；5）去除表面原子级材料的超光滑加工工艺。本发明提出的抛光方法同时解决了抛光元件材料表面低频面形精度确定性控制、表面缺陷控制以及超光滑加工关键技术问题，特别是，不受元件尺寸和非球面度影响，通用性强，稳定性高；全流程仅使用机器人抛光设备，具有成本低，效率高的优点。
本发明授权一种大口径高陡度非球面石英玻璃超光滑抛光方法在权利要求书中公布了：1.一种大口径高陡度非球面石英玻璃超光滑抛光方法，其特征在于，包括以下步骤： 步骤1）根据待加工非球面元件的方程生成加工程序文件； 步骤2）确定抛光路径、抛光时间及抛光负载参数； 步骤3）采用平均粒径为1μm-3μm的氧化铈抛光液和硬度为60-95ShoreA的聚氨酯抛光垫组合进行粗抛加工； 步骤4）采用平均粒径为0.3-0.6μm的氧化铈抛光液和针入度为0.6mm-1.2mm的沥青混合物组合进行精抛加工； 步骤5）采用平均粒径0.1～0.3μm的氧化铈抛光液与针入度0.15～0.5mm的沥青混合物组合进行超光滑预抛光； 步骤6）采用平均粒径20～40nm的氧化铈抛光液与孔隙率90%～96%的柔性抛光介质组合进行原子级超光滑抛光。
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