中国石油大学(华东)王斌获国家专利权
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龙图腾网获悉中国石油大学(华东)申请的专利基于激光诱导等离子体探针的亚波长成像系统及方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120427600B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-12发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510918668.2,技术领域涉及:G01N21/71;该发明授权基于激光诱导等离子体探针的亚波长成像系统及方法是由王斌;宁兴凯;张炳洋;高睦志设计研发完成,并于2025-07-04向国家知识产权局提交的专利申请。
本基于激光诱导等离子体探针的亚波长成像系统及方法在说明书摘要公布了:本发明涉及电磁波成像技术领域,公开一种基于激光诱导等离子体探针的亚波长成像系统及方法。成像系统包括激光调控模块、高电阻半导体基底、微波近场散射模块和数据采集模块,激光调控模块由激光器、振镜和透镜组件,激光器、振镜、透镜组件、高电阻半导体基底和微波近场散射模块依次设置,微波近场散射模块与数据采集模块连接。成像方法包括形成暂态等离子体区域;设定数据采集模块的扫描点数、设定扫描矩阵;控制振镜将激光光斑跳转至当前坐标点;数据采集模块采集当前点信号的反射参数S11;对所采集的全部扫描点的反射参数S11数据进行统一处理。本发明实现了亚波长尺度的非接触式高分辨率成像,提高了系统稳定性、兼容性与扫描效率。
本发明授权基于激光诱导等离子体探针的亚波长成像系统及方法在权利要求书中公布了:1.一种基于激光诱导等离子体探针的亚波长成像系统的成像方法,其特征是:所述基于激光诱导等离子体探针的亚波长成像系统包括激光调控模块、高电阻半导体基底、微波近场散射模块和数据采集模块,激光调控模块由激光器、振镜和透镜组件,激光器、振镜、透镜组件、高电阻半导体基底和微波近场散射模块依次设置,微波近场散射模块与数据采集模块连接,激光器和振镜均与激光振镜控制卡连接; 所述高电阻半导体基底为本征硅片,介电常数为εr,电阻率不低于2.3×105Ωcm,且其厚度d为电磁波在高电阻半导体基底中的半波长的整数倍,以产生自谐振; 所述微波近场散射模块为能够提供TM模式近场电磁波辐射的微波元件;所述数据采集模块为微波信号发射与接收一体化装置,包括矢量网络分析仪或信号源与频谱仪组合,采集反射参数S11的幅值曲线与相位曲线,由幅值曲线中获得谐振频率; 上述基于激光诱导等离子体探针的亚波长成像系统的成像方法,包括以下步骤: (1)将被测介质贴附于高电阻半导体基底表面靠近微波近场散射模块的一侧; (2)通过激光器、振镜和透镜将激光聚焦于高电阻半导体基底表面,激光照射后,根据光生等离子体探针原理,在指定位置于t1时间内生成高浓度光生载流子,形成暂态等离子体区域; (3)对数据采集模块进行端口校准及频率校准,确保反射参数S11测量准确; (4)设定数据采集模块的扫描点数不少于201点,数据采集模块中频带宽不低于100kHz,以确保频率分辨率和信号质量; (5)设定扫描矩阵为m×n,初始化行列坐标计数器i=0,j=0; (6)控制振镜将激光光斑跳转至当前坐标点(i,j); (7)等待时间t; (8)数据采集模块采集当前点信号的反射参数S11,并保存数据,获得反射参数S11的幅值曲线与相位曲线,进而提取谐振频率及对应的幅值与相位; (9)列坐标自增:j=j+1; (10)判断是否到达当前行末尾,j=n,若否则跳转回步骤(6)继续扫描当前行;若是则执行步骤(11),行坐标i=i+1,列坐标j=0,继续下一行扫描; (11)判断是否完成所有行扫描,i=m,若否则返回步骤(6);若是则所有点已完成测量; (12)对步骤(8)所采集的全部扫描点的反射参数S11数据进行统一处理;针对每一个扫描点,从其反射响应中提取关键特征参数,包括但不限于:某特定频率下不同扫描点的幅值、某特定频率下不同扫描点的相位值或不同扫描空间位置的谐振频率;上述任一参数均能作为该点的物理特征指标,用于后续二维图像重构。
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