山东省科学院激光研究所;济南蓝动激光技术有限公司王兆伟获国家专利权
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龙图腾网获悉山东省科学院激光研究所;济南蓝动激光技术有限公司申请的专利一种光子晶体表面发射激光器及其制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120453853B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-12发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510925831.8,技术领域涉及:H01S5/11;该发明授权一种光子晶体表面发射激光器及其制备方法是由王兆伟;祁锦云;唐先胜;甄易;侯仰飞;韩丽丽;宫卫华;李仕龙;王舒蒙设计研发完成,并于2025-07-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种光子晶体表面发射激光器及其制备方法在说明书摘要公布了:本申请涉及激光器制备技术领域,并提供一种光子晶体表面发射激光器及其制备方法。制备方法包括:在GaAs衬底依次生长n型掺杂层、p型单独限制层和p+n+隧道结;在p+n+隧道结制备图形化掩膜结构;图形化掩膜结构包括多个预设图形;按照预设图形刻蚀p+n+隧道结,以得到多个光子晶体;在光子晶体依次生长n型包覆层、未掺杂活性层和p型包覆层;在p型包覆层生长p型电极;在GaAs衬底生长n型电极。该制备方法可以有效解决SHB问题,多个光子晶体可以实现不同的排布形式,以形成能够实现所需出光方式的图案,可以实现各方向出光,以满足光子晶体表面发射激光器的不同出光特性的需求,保证激光器的使用性能。
本发明授权一种光子晶体表面发射激光器及其制备方法在权利要求书中公布了:1.一种光子晶体表面发射激光器的制备方法,其特征在于,包括: 在GaAs衬底依次生长n型掺杂层、p型单独限制层和p++隧道结; 在所述p++隧道结制备图形化掩膜结构;所述图形化掩膜结构包括多个预设图形; 按照所述预设图形刻蚀所述p++隧道结,以得到多个光子晶体;其中,多个所述光子晶体沿至少两个方向排布; 在所述光子晶体依次生长n型包覆层、未掺杂活性层和p型包覆层; 在所述p型包覆层生长p型电极; 在所述GaAs衬底生长n型电极。
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