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龙图腾网获悉玮晶科技(泰州)有限公司申请的专利一种涂胶显影机晶圆定位装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120421189B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510932966.7，技术领域涉及：B05C13/02；该发明授权一种涂胶显影机晶圆定位装置是由刘英设计研发完成，并于2025-07-08向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种涂胶显影机晶圆定位装置在说明书摘要公布了：本发明涉及半导体集成电路制造技术领域，具体为一种涂胶显影机晶圆定位装置，包括晶圆拿取点胶台，所述晶圆拿取点胶台前侧的左侧固定连接有晶圆涂胶机构，所述晶圆拿取点胶台包括底台，所述底台的顶部右侧固定连接有拿取组件，所述底台的顶部左侧固定连接有点胶组件，所述晶圆涂胶机构包括旋转控制底座，所述旋转控制底座的顶部设置有旋转台，本发明通过设置有晶圆拿取点胶台与晶圆涂胶机构，实现了晶圆在涂胶显影机中的高精度、高效率定位与加工，通过一系列精密的机械结构和电气控制，本发明确保了晶圆在拿取、放置、涂胶等各个加工步骤中的稳定性和准确性，从而大大提高了半导体制造、微电子加工等领域的生产效率和产品质量。

本发明授权一种涂胶显影机晶圆定位装置在权利要求书中公布了：1.一种涂胶显影机晶圆定位装置，包括晶圆拿取点胶台（1），其特征在于：所述晶圆拿取点胶台（1）前侧的左侧固定连接有晶圆涂胶机构（2）； 所述晶圆拿取点胶台（1）包括底台（11），所述底台（11）的顶部右侧固定连接有拿取组件（12），所述底台（11）的顶部左侧固定连接有点胶组件（13）； 所述底台（11）包括底立板（111），所述底立板（111）的顶部固定连接有顶衔接板（112），所述顶衔接板（112）的内壁前侧固定连接有晶圆放置管（115），所述顶衔接板（112）的顶部与晶圆放置管（115）对其的一侧固定连接有晶圆拿取导向盘（116），所述顶衔接板（112）顶部后侧的左右两侧皆固定连接有侧支撑立板（114），所述底立板（111）的右侧固定连接有倒U型支撑立板（113），所述底立板（111）的后侧固定连接有L型连接台（117），所述L型连接台（117）顶部左侧的两侧皆固定连接有点胶组件连接立板（118）； 所述拿取组件（12）包括拿取组件底板（121），所述拿取组件底板（121）底部的两侧皆固定连接在两个侧支撑立板（114）的顶部，所述拿取组件底板（121）的底部右侧固定连接在侧支撑立板（114）的顶部，所述拿取组件底板（121）的顶部固定连接有顶托板（122），所述顶托板（122）顶部后侧的左右两侧皆固定连接有侧块（123），所述顶托板（122）顶部后侧在两个侧块（123）内侧的中部固定连接有导向块（124），所述导向块（124）与右侧侧块（123）的内侧固定连接有电动推杆（125），所述电动推杆（125）的左端延伸至导向块（124）的左侧且固定连接有横L型推拉块（126），所述横L型推拉块（126）的前侧固定连接有齿条杆（127），所述顶托板（122）的中部固定连接有导向横板（128），所述齿条杆（127）的底部滑动连接在导向横板（128）的顶部； 所述顶托板（122）顶部在导向横板（128）前侧的中部转动连接有柱状转杆（1211），所述柱状转杆（1211）的外壁底部固定连接有齿轮（1212），所述齿轮（1212）的外壁与齿条杆（127）的前侧啮合，所述柱状转杆（1211）的顶端转动连接有顶板（1210），所述顶板（1210）底部右侧的三边皆固定连接有柱状立杆（129），三个所述柱状立杆（129）的底端皆固定连接在顶托板（122）顶部右侧前侧的三边，所述柱状转杆（1211）的外壁中部固定连接有连接轴（1213），所述连接轴（1213）的外壁固定连接有连接臂（1214），所述连接臂（1214）的前侧固定连接有拿取电动推杆连接块（1217），所述拿取电动推杆连接块（1217）的内壁固定连接有拿取电动推杆（1218），所述拿取电动推杆（1218）的底端固定连接有真空吸盘（1219），所述真空吸盘（1219）的外壁两侧皆固定连接有柱状压杆连接杆（1220），两个所述柱状压杆连接杆（1220）底部远离真空吸盘（1219）的一侧均固定连接有柱状压杆（1221），所述真空吸盘（1219）外壁的左右两侧皆固定连接有通气管（1223），所述连接臂（1214）的底部固定连接有抽气控制块（1222），两个所述通气管（1223）远离真空吸盘（1219）的一端皆固定连接在抽气控制块（1222）的左右两侧，所述连接臂（1214）左右两侧的前侧皆固定连接有顶连接块侧杆（1215），两个所述顶连接块侧杆（1215）的内侧顶部固定连接有顶连接块（1216），所述顶连接块（1216）的底部固定连接在拿取电动推杆（1218）的顶端； 所述点胶组件（13）包括点胶件底板（131），所述点胶件底板（131）底部的两侧皆固定连接在两个点胶组件连接立板（118）的顶部，所述点胶件底板（131）的顶部固定连接有点胶件顶托板（132），所述点胶件顶托板（132）顶部后侧的左侧固定连接有限制块（135），所述点胶件顶托板（132）顶部后侧的中部与右侧皆固定连接有柱状推拉横杆导向块（134），两个所述柱状推拉横杆导向块（134）的内壁滑动连接有柱状推拉横杆（136），所述柱状推拉横杆（136）的右端固定连接有横L型推拉杆（137），所述横L型推拉杆（137）的底部前侧固定连接在横L型推拉块（126）的顶部，所述柱状推拉横杆（136）的左端固定连接有第二L型连接块（138），所述第二L型连接块（138）的前侧固定连接有第二齿条杆（139），所述点胶件顶托板（132）的顶部中部固定连接有第二导向横板（133），所述第二齿条杆（139）的底部滑动连接在第二导向横板（133）的顶部，所述点胶件顶托板（132）顶部在第二导向横板（133）前侧的中部转动连接有第二柱状转杆（1312），所述第二柱状转杆（1312）的外壁底部固定连接有第二齿轮（1313），所述第二齿轮（1313）的外壁与第二齿条杆（139）的前侧啮合，所述第二柱状转杆（1312）的顶端转动连接有第二顶板（1311），所述第二顶板（1311）底部右侧的三边皆固定连接有第二柱状立杆（1310），三个所述第二柱状立杆（1310）的底端皆固定连接在点胶件顶托板（132）顶部右侧的前侧三边，所述第二柱状转杆（1312）的外壁中部固定连接有第二连接轴（1314），所述第二连接轴（1314）的外壁固定连接有第二连接臂（1315），所述第二连接臂（1315）的前侧固定连接有点胶电动推杆连接块（1318），所述点胶电动推杆连接块（1318）的内壁固定连接有点胶电动推杆（1319），所述点胶电动推杆（1319）的底端固定连接有点胶头（1320），所述第二连接臂（1315）的底部固定连接有存胶仓（1321），所述点胶头（1320）的外壁的两侧皆固定连接有通胶管（1322），两个所述通胶管（1322）远离点胶头（1320）的一端皆固定连接在存胶仓（1321）的左右两侧，所述第二连接臂（1315）左右两侧的前侧皆固定连接有第二顶连接块侧杆（1316），两个所述第二顶连接块侧杆（1316）的内侧顶部固定连接有第二顶连接块（1317），所述第二顶连接块（1317）的底部固定连接在点胶电动推杆（1319）的顶端； 所述晶圆涂胶机构（2）包括旋转控制底座（21），所述旋转控制底座（21）的顶部设置有旋转台（22）。

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