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龙图腾网获悉浙江大学申请的专利一种大尺寸低反射率平面高精度平面度测量方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120445111B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510947733.4，技术领域涉及：G01B11/30；该发明授权一种大尺寸低反射率平面高精度平面度测量方法是由郑泽培;王帅;段博崧;朱吴乐;孙安玉;居冰峰设计研发完成，并于2025-07-10向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种大尺寸低反射率平面高精度平面度测量方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种大尺寸低反射率平面高精度平面度测量方法，属于光学精密测量技术领域，该方法包括以下步骤：计算子孔径数量和斜入射角度，确定子孔径拼接路径；移相激光干涉仪斜入射角度入射至被测平面，采集椭圆子孔径区域的干涉条纹灰度图像；利用移相干涉算法解算干涉条纹灰度图像，获得子孔径的相位数据；根据确定的子孔径拼接路径移动被测平面，依次获得各子孔径的相位数据；对各子孔径的相位数据进行拼接处理，生成被测平面整体的相位数据；将测量平面整体的相位数据还原被测平面的平面高度数据。该方法对抛光表面依赖性低、对干涉仪口径依赖性低、测量正确率高、稳定性强。

本发明授权一种大尺寸低反射率平面高精度平面度测量方法在权利要求书中公布了：1.一种大尺寸低反射率平面高精度平面度测量方法，其特征在于，其包括以下步骤： S1.根据被测平面的尺寸和移相激光干涉仪的口径，计算子孔径数量和斜入射角度，同时确定子孔径拼接路径； S2.移相激光干涉仪的激光光束以计算所得的斜入射角度入射至被测平面，在激光光束被被测平面反射的路径上摆放一面平面反射镜，将激光光束反射回被测平面的同一个位置，最后返回移相激光干涉仪，采集椭圆子孔径区域的干涉条纹灰度图像； S3.利用移相干涉算法解算干涉条纹灰度图像，获得子孔径的相位数据； S4.根据确定的子孔径拼接路径移动被测平面，按照S2至S3的方式依次获得各子孔径的相位数据； S5.对各子孔径的相位数据进行拼接处理，生成被测平面整体的相位数据，具体步骤包括： S5.1.对子孔径的相位数据的重叠区域，通过最小二乘法的全局优化算法补偿斜率和高度位移误差，得到每一个子孔径的斜率补偿函数； 最小二乘法的全局优化算法的计算公式为： ， 其中，V表示各子孔径的斜率补偿函数，i和j表示子孔径的编号，N为子孔径数量，Zi和Zj表示子孔径i和子孔径j的相位数据的重叠区域，x和y分别表示子孔径在x轴和y轴上的坐标，x i 和y i 分别表示子孔径i在x轴和y轴上的偏移量，x j 和y j 分别表示子孔径j在x轴和y轴上的偏移量，a、b和c分别表示补偿因子； S5.2.将各子孔径相位数据减去对应的斜率补偿函数，得到斜率统一的子孔径相位数据； S5.3.将所有斜率统一的子孔径相位数据相加，并将相位数据的重叠区域做平均化处理，生成被测平面整体的相位数据，计算公式为： ， 其中，M △φ 为被测平面整体的相位数据，M i 为斜率统一的子孔径i的相位数据，N为子孔径数量； S6.将被测平面整体的相位数据还原被测平面的平面高度数据，被测平面高度数据的计算公式为： ， 其中，M h 为被测平面的平面高度数据，M △φ 为被测平面整体的相位数据，θ为斜入射角度，λ 0为激光光束波长，n 0为干涉腔内介质的折射率。

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