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龙图腾网获悉翌颖科技(上海)有限公司申请的专利一种高精密反射式膜厚测量方法及系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120488973B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510970552.3，技术领域涉及：G01B11/06；该发明授权一种高精密反射式膜厚测量方法及系统是由李扬;肖烈斌;陆志扬;肖俊林;何磊设计研发完成，并于2025-07-15向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种高精密反射式膜厚测量方法及系统在说明书摘要公布了：本发明涉及一种高精密反射式膜厚测量方法及系统，涉及薄膜测量技术领域，其包括：控制预设的光源模块发射测量光束至需要进行膜厚测量的薄膜材料；采集测量光束照射至薄膜材料发生反射后的反射光检测信息；基于反射光检测信息实时生成位置调整信息，并将位置调整信息输出至预设的位置调节模块以控制预设的反射光探测模块或预设的光源模块进行位置调整，且重新采集反射光检测信息并定义为反射光更新信息；基于反射光更新信息进行选取以生成反射光选取信息；基于反射光选取信息进行椭圆偏振分析以形成薄膜厚度结果值，并输出薄膜厚度结果值。本发明具有方便对膜厚进行高精度测量的效果。

本发明授权一种高精密反射式膜厚测量方法及系统在权利要求书中公布了：1.一种高精密反射式膜厚测量方法，其特征在于，包括： S1：控制预设的光源模块发射测量光束至需要进行膜厚测量的薄膜材料； S2：采集测量光束照射至薄膜材料发生反射后的反射光检测信息； S3：基于所述反射光检测信息实时生成位置调整信息，并将所述位置调整信息输出至预设的位置调节模块以控制预设的反射光探测模块或预设的光源模块进行位置调整，且重新采集所述反射光检测信息并定义为反射光更新信息； S4：基于所述反射光更新信息进行选取以生成反射光选取信息； S5：基于所述反射光选取信息进行椭圆偏振分析以形成薄膜厚度结果值，并输出所述薄膜厚度结果值； 所述位置调整信息的生成方法包括： S31：采集发射情况信息； S32：基于所述发射情况信息调取发射光强度值及发射位置点； S33：基于所述反射光检测信息调取检测位置点及反射光强度值； S34：基于所述发射位置点与所述检测位置点确定强度变化区间及反射角度值； S35：基于所述发射光强度值、所述反射光强度值及所述强度变化区间确定光强偏差值； S36：基于所述光强偏差值生成光强偏差调整信息； S37：基于所述反射角度值生成角度调整信息； S38：基于所述光强偏差调整信息与所述角度调整信息进行结合以形成所述位置调整信息； 所述光强偏差调整信息的生成方法包括： S361：采集测量时间点及测量位置点； S362：基于所述测量位置点确定适宜时间段； S363：基于所述测量时间点与所述适宜时间段确定时间偏差值； S364：基于所述时间偏差值确定光强时间基准偏差值； S365：确定所述光强偏差值是否大于所述光强时间基准偏差值； S366：若为是，则基于所述光强偏差值与所述时间偏差值生成光强调整移动信息，并将所述光强调整移动信息作为所述光强偏差调整信息； S367：若为否，则基于所述光强偏差值与所述光强时间基准偏差值之间的差值并作为光强异常偏差值； S368：基于所述光强异常偏差值确定光强异常移动信息，并将所述光强异常移动信息作为所述光强偏差调整信息； 所述角度调整信息的生成方法包括： S371：确定所述反射角度值是否落入预设的角度基准区间； S372：若为是，则基于所述角度基准区间确定角度基准中间值； S373：基于所述反射角度值与所述角度基准中间值生成基准调整信息，并将所述基准调整信息作为所述角度调整信息； S374：若为否，则计算所述反射角度值与预设的角度基准区间之间的差值并作为反射角度偏差值； S375：基于所述反射角度偏差值确定角度偏差距离调整值； S376：基于所述角度偏差距离调整值确定接收调整信息，并将所述接收调整信息作为所述角度调整信息。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人翌颖科技(上海)有限公司，其通讯地址为：201100 上海市闵行区紫星路588号2幢3楼330室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。