广东思沃精密机械有限公司王建勋获国家专利权
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龙图腾网获悉广东思沃精密机械有限公司申请的专利贴膜机获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN111725088B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-09发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:201910204754.1,技术领域涉及:H01L21/67;该发明授权贴膜机是由王建勋;谢军设计研发完成,并于2019-03-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本贴膜机在说明书摘要公布了:本发明公开了一种贴膜机,包括贴膜装置、放膜装置、以及切膜装置;贴膜装置包括第一压膜台、第二压膜台、压膜驱动机构;切膜装置包括切割组件、以及移动驱动组件。放膜装置将原料膜的干膜与底膜分离并将干膜输送至第一压膜台与第二压膜台之间的间隙并位于第二压膜台上的晶圆的正上方,压膜驱动机构带动第一压膜台靠近第二压膜台并将干膜与晶圆压紧,压膜驱动机构带动第一压膜台远离第二压膜台,移动驱动组件带动切割组件伸入贴膜加工腔,切割组件沿着晶圆的边界对干膜进行切割,使得贴覆有干膜的晶圆与干膜的整体分离,进而实现对产品进行贴膜处理,并将产品边界外的干膜切除。
本发明授权贴膜机在权利要求书中公布了:1.贴膜机,其特征在于,包括贴膜装置、用于为所述贴膜装置供应干膜的放膜装置、以及切膜装置;所述贴膜装置包括第一压膜台、与所述第一压膜台相对设置且用于放置待贴膜产品的第二压膜台、用于带动所述第一压膜台相对所述第二压膜台移动以完成压膜动作的压膜驱动机构;所述切膜装置包括切割组件、以及用于带动所述切割组件移动以完成对待贴膜产品的边界外的干膜进行切割的移动驱动组件; 所述放膜装置包括送膜滑动座,以及设于所述送膜滑动座且用于将原料膜分离为干膜与底膜的分膜组件;所述分膜组件包括分膜框体; 所述放膜装置还包括用于带动所述分膜组件沿竖直方向运动的分膜升降驱动组件;所述分膜升降驱动组件包括与所述送膜滑动座相连的分膜连接杆、与所述分膜连接杆相连的分膜固定板、贯穿所述送膜滑动座且与所述送膜滑动座滑动连接的分膜升降杆、与所述分膜升降杆相连的分膜升降板、以及设于所述分膜固定板的分膜升降驱动件;所述分膜框体与所述分膜升降杆远离所述分膜升降板的一端相连,所述分膜升降板与所述分膜升降驱动件的输出端相连; 所述分膜升降驱动件带动所述分膜升降板沿所述分膜升降杆的轴线方向做上升运动,与所述分膜升降杆的另一端相连的所述分膜组件随着所述分膜升降板做同步的上升运动,进而带动所述分膜组件整体做上升运动,进而将所述分膜组件上升至一定的高度,使得被所述分膜组件分离出的所述干膜以高于待贴膜产品的表面的一定距离移动。
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