深圳市微恒自动化设备有限公司唐文轩获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市微恒自动化设备有限公司申请的专利一种顶针自动调节装置及顶针自动调节方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN111370361B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-09发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202010186849.8,技术领域涉及:H01L21/683;该发明授权一种顶针自动调节装置及顶针自动调节方法是由唐文轩;杨世国设计研发完成,并于2020-03-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种顶针自动调节装置及顶针自动调节方法在说明书摘要公布了:本发明涉及到半导体生产设备技术领域,提供了一种顶针自动调节装置及顶针自动调节方法,包括位移机构、驱动机构、顶针机构,所述驱动机构、顶针机构均连接于所述位移机构,所述驱动机构驱动所述位移机构产生位移,所述顶针机构随所述位移机构进行位移。依靠电机与位移机构连接实现X、Y、Z向调整移动,通过电机的联动,实现X、Y、Z三轴动作达到自动化生产的目的,提高自动化程度,提升生产效率,解决精度低,易造成不良品质的问题。
本发明授权一种顶针自动调节装置及顶针自动调节方法在权利要求书中公布了:1.一种顶针自动调节装置,其特征在于,包括位移机构、驱动机构、顶针机构,所述驱动机构、顶针机构均连接于所述位移机构,所述驱动机构驱动所述位移机构产生位移,所述顶针机构随所述位移机构进行位移; 所述位移机构包括第一拉簧、第一夹紧条、第一基块,第二拉簧、第二夹紧条和第二基块,所述第一夹紧条的一端通过所述第一拉簧与所述第一基块连接,所述第二夹紧条的一端通过所述第二拉簧与所述第二基块连接; 所述驱动机构包括第一电机座、第一轴承、第一偏心位移机构和第一电机,所述第一电机安装于所述第一电机座,所述第一轴承通过所述第一偏心位移机构与所述第一电机相连,所述第一轴承夹紧于所述第一夹紧条内;所述驱动机构还包括第二电机座、第二轴承、第二偏心位移机构、第二电机,所述第二电机安装于所述第二电机座,所述第二轴承通过所述第二偏心位移机构与所述第二电机相连,所述第二轴承夹紧于所述第二夹紧条内; 其中,所述第一拉簧和第一夹紧条可调地夹紧所述第一偏心位移机构,在所述第一偏心位移机构的作用下带动所述第一基块作出相应位移,所述第二拉簧和所述第二夹紧条可调地夹紧所述第二偏心位移机构,在所述第二偏心位移机构作用下带动所述第二基块作出相应位移。
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