ASML荷兰有限公司玛丽亚-克莱尔·范拉尔获国家专利权
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龙图腾网获悉ASML荷兰有限公司申请的专利图案形成装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113811816B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080032591.4，技术领域涉及：G03F1/00；该发明授权图案形成装置是由玛丽亚-克莱尔·范拉尔;F·J·蒂默曼设计研发完成，并于2020-04-02向国家知识产权局提交的专利申请。
本图案形成装置在说明书摘要公布了：一种被配置用于光刻设备的图案形成装置，所述光刻设备被配置为使用辐射经由投影光学器件将所述图案形成装置的图案成像到衬底上。所述图案形成装置包括：第一部件，用于反射和或透射所述辐射；以及第二部件，覆盖所述第一部件的表面的至少部分，并且被配置为至少部分地吸收入射到所述第二部件上的所述辐射。所述第二部件包括侧壁，其中所述侧壁的至少部分以一角度从所述第一部件延伸离开第一部分，所述角度是相对于平行于所述第一部件的所述表面的平面的，并且其中所述角度小于85度。
本发明授权图案形成装置在权利要求书中公布了：1.一种被配置用于光刻设备的图案形成装置，所述光刻设备被配置为使用辐射经由投影光学器件将所述图案形成装置的图案成像到衬底上，所述图案形成装置包括： 第一部件，用于反射所述辐射，以及 第二部件，覆盖所述第一部件的表面的至少部分以在所述图案形成装置提供图案，并且被配置为至少部分地吸收入射到所述第二部件上的所述辐射， 其中所述第二部件包括侧壁，其中所述侧壁的至少一部分以一角度从所述第一部件延伸，所述角度是相对于平行于所述第一部件的所述表面的平面的，并且其中所述角度小于85度，以及 其中所述侧壁具有曲线形状； 其中在所述侧壁的远离所述第一部件的最远点处，所述第二部件的远端的凸端部的形状是正弦曲线的周期的一半或更少。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人ASML荷兰有限公司，其通讯地址为：荷兰维德霍温；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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