中微半导体设备(上海)股份有限公司庞云玲获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉中微半导体设备(上海)股份有限公司申请的专利加热装置、CVD设备及半导体工艺处理的方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115772660B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111039519.7，技术领域涉及：C23C16/46；该发明授权加热装置、CVD设备及半导体工艺处理的方法是由庞云玲;姜勇设计研发完成，并于2021-09-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本加热装置、CVD设备及半导体工艺处理的方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种加热装置，用于CVD设备，包含：布置在反应室上方的上灯模块和或反应室下方的下灯模块；所述上灯模块、下灯模块包含由多个加热灯形成的上灯阵列、下灯阵列；通过所述上灯阵列、下灯阵列加热所述基片承载台以及基片；所述加热灯包括一管状灯体和位于管状灯体两端的电极端，所述上灯模块、下灯模块中的电极端分别朝上、下进行电连接；所述管状灯体内设有沿管状灯体延伸的灯丝；所述上灯阵列、下灯阵列可以分区控制加热功率本发明还包含一种CVD设备及一种半导体工艺处理的方法。本发明能够提高加热装置的热能利用率，且能够精准控制各加热灯的加热功率，防止相邻加热灯之间出现冷点，有效保证基片表面均温。
本发明授权加热装置、CVD设备及半导体工艺处理的方法在权利要求书中公布了：1.一种加热装置，用于CVD设备，所述CVD设备的反应室内包含用于承载基片的基片承载台，其特征在于，所述加热装置包含：布置在反应室上方的上灯模块和或反应室下方的下灯模块； 所述上灯模块、下灯模块包含由多个加热灯形成的上灯阵列、下灯阵列；通过所述上灯阵列、下灯阵列加热所述基片承载台以及基片； 所述加热灯包括一管状灯体、两个封闭端和位于管状灯体两端的电极端，所述上灯模块、下灯模块中的管状灯体的两端分别朝上、朝下弯曲，所述上灯模块、下灯模块中的电极端分别朝上、下进行电连接；所述管状灯体内设有沿管状灯体延伸的灯丝；所述上灯阵列、下灯阵列可以分区控制加热功率； 两个所述封闭端分别用于封堵所述管状灯体的两端，两个所述电极分别设置在两个所述封闭端上； 所述管状灯体包含两个竖直加热段，以及在所述两个竖直加热段之间的水平加热段；水平加热段的长度方向为加热灯的长度方向；通过相邻的竖直加热段补偿相邻加热灯之间的冷点。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人中微半导体设备(上海)股份有限公司，其通讯地址为：201201 上海市浦东新区金桥出口加工区（南区）泰华路188号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号