杭州电子科技大学富阳电子信息研究院有限公司;杭州电子科技大学程知群获国家专利权
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龙图腾网获悉杭州电子科技大学富阳电子信息研究院有限公司;杭州电子科技大学申请的专利一种高线性度的GaN HEMT射频功率器件获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114649404B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-09发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210105595.1,技术领域涉及:H10D62/10;该发明授权一种高线性度的GaN HEMT射频功率器件是由程知群;乐超设计研发完成,并于2022-01-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种高线性度的GaN HEMT射频功率器件在说明书摘要公布了:本发明公开了一种高线性度的GaNHEMT射频功率器件,包括依次设置的衬底层、缓冲层、沟道层、阻挡层、保护层,在保护层的上方设置源极、栅极和漏极;其中,所述保护层形成L形槽,所述源极设置在L形槽的顶部使源极端口和栅极端口在水平空间上相互错开。采用本发明的技术方案,将保护层做成一个L形槽,使得源极端口往竖直方向抬升,达到Source端口的底部与Gate端口的顶端齐平,从而根本上消除了Cgs的存在,Δ随着输出功率增加时,Cgs不再影响Δ值的变化,从而缓解了Δ值远离0的趋势,有效的改善了器件线性度。
本发明授权一种高线性度的GaN HEMT射频功率器件在权利要求书中公布了:1.一种高线性度的GaNHEMT射频功率器件,其特征在于,包括依次设置的衬底层、缓冲层、沟道层、阻挡层、保护层,在保护层的上方设置源极、栅极和漏极;其中,所述保护层形成L形槽,所述源极设置在L形槽的顶部使源极端口和栅极端口在水平空间上相互错开;漏极端口顶部与栅极端口顶部齐平,源极端口底部与栅极端口顶部齐平;沟道层采用GaN材料;阻挡层采用AlGaN材料。
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