京东方科技集团股份有限公司安金鑫获国家专利权
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龙图腾网获悉京东方科技集团股份有限公司申请的专利器件转移基板及其制备方法、器件转移方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115172246B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-09发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210161282.8,技术领域涉及:H01L21/683;该发明授权器件转移基板及其制备方法、器件转移方法是由安金鑫;李树磊;闫俊伟;谷新;张笑;任泽设计研发完成,并于2022-02-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本器件转移基板及其制备方法、器件转移方法在说明书摘要公布了:本申请提供了一种器件转移基板及其制备方法、器件转移方法,所述器件转移基板中,多个支撑单元间隔设置于所述第一衬底基板上方;其中,每个支撑单元包括支撑柱和设置于所述支撑柱远离所述第一衬底基板的一侧的连接部,以及与所述连接部连接的延伸部;多个元器件设置于所述延伸部远离所述第一衬底基板的一侧。在之后的器件转移过程中,在所述第三衬底基板和所述器件转移基板进行对位压合时,所述支撑单元的悬空部分即上述延伸部在所述元器件的压合作用下会发生断裂,与对应的所述连接部相断开,从而将所述元器件转移至所述第三衬底基板上。无需不成熟的激光加工,通过基板之间的压合作用就可以实现元器件的转移,可以大大提升工艺良率。
本发明授权器件转移基板及其制备方法、器件转移方法在权利要求书中公布了:1.一种器件转移基板,其特征在于,包括: 第一衬底基板; 多个支撑单元,间隔设置于所述第一衬底基板上方;其中,每个支撑单元包括支撑柱和设置于所述支撑柱远离所述第一衬底基板的一侧的连接部,以及与所述连接部连接的延伸部;所述延伸部在所述第一衬底基板上的正投影不覆盖所述支撑柱在所述第一衬底基板上的正投影,且所述延伸部不接触所述第一衬底基板; 多个元器件,设置于所述延伸部远离所述第一衬底基板的一侧; 所述支撑单元的所述延伸部会在所述元器件的压合作用下与对应的所述连接部相断开。
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