中国科学院上海硅酸盐研究所王墉哲获国家专利权
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龙图腾网获悉中国科学院上海硅酸盐研究所申请的专利一种基于电子背散射衍射花样的晶面衍射衬度的成像方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114609167B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-09发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210203357.4,技术领域涉及:G01N23/203;该发明授权一种基于电子背散射衍射花样的晶面衍射衬度的成像方法是由王墉哲;曾毅;张积梅;林初城设计研发完成,并于2022-03-02向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种基于电子背散射衍射花样的晶面衍射衬度的成像方法在说明书摘要公布了:本发明提供一种基于电子背散射衍射花样的晶面衍射衬度的成像方法,包括如下步骤:将待检样品表面抛光后置于扫描电镜的样品台上,样品台倾转60°‑70°,并设置电子背散射衍射分析的最佳工作距离;在经抛光的待检样品表面采集电子背散射衍射花样信号;将采集得到的衍射花样逐一导入至Matlab程序中,通过傅里叶变换、高斯低通滤波、反傅里叶变化降噪;通过霍夫变换识别菊池带中心线;逐一提取、线性叠加每一条衍射花样中心线所对应衍射花样中图像像素点,即晶面所对应的衍射花样上像素点灰度值;依据任意晶面可收集一组衍射花样上像素点灰度值,依据电子背散射衍射采集面分布图像x\y坐标,输出该晶面衍射衬度图像。
本发明授权一种基于电子背散射衍射花样的晶面衍射衬度的成像方法在权利要求书中公布了:1.一种基于电子背散射衍射花样的晶面衍射衬度的成像方法,其特征在于,包括如下步骤: 将待检样品表面抛光后置于扫描电镜的样品台上,样品台倾转60°-70°,并设置电子背散射衍射分析的最佳工作距离; 在经抛光的待检样品表面采集电子背散射衍射花样信号; 将采集得到的衍射花样逐一导入至Matlab程序中,通过傅里叶变换、高斯低通滤波、反傅里叶变化降噪; 通过霍夫变换识别菊池带中心线; 逐一提取、线性叠加每一条衍射花样中心线所对应衍射花样中图像像素点,即晶面所对应的衍射花样上像素点灰度值; 依据任意晶面可收集一组衍射花样上像素点灰度值,依据电子背散射衍射采集面分布图像x\y坐标,输出该晶面衍射衬度图像。
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