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龙图腾网获悉中国电子科技集团公司第五十五研究所申请的专利一种用于监测工艺波动和提取开关管等效参数的芯片电路获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115184766B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210646197.0，技术领域涉及：G01R31/28；该发明授权一种用于监测工艺波动和提取开关管等效参数的芯片电路是由金辉;陶洪琪;王磊;余旭明;杨常林;陈峰;刘伶设计研发完成，并于2022-06-08向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种用于监测工艺波动和提取开关管等效参数的芯片电路在说明书摘要公布了：本发明公开一种用于监测工艺波动和提取开关管等效参数的芯片电路，属于基本的电子电路的技术领域，微带线、MIM电容、开关管、开关管栅极电阻、开关管栅极馈电压点、输入输出压点采用半导体工艺集成在衬底上。利用开关管关断时的电容、寄生电感及电路中的微带电感构成第一个LC谐振频点；利用开关管导通时的导通电阻、寄生电感与电路中的MIM电容以及微带电感构成第二个LC谐振频点；通过拟合谐振曲线，提取开关管的等效参数。对本芯片电路进行在片测试，可以根据二端口网络参数测试曲线两个谐振频点的偏移直接监测工艺波动。

本发明授权一种用于监测工艺波动和提取开关管等效参数的芯片电路在权利要求书中公布了：1.一种用于监测工艺波动和提取开关管等效参数的芯片电路，其特征在于，包括： 第一微带线，其一端为输入键合压点， 第二微带线，其一端与所述第一微带线的另一端连接， 第三微带线，其一端与所述第一微带线的另一端连接， 第四微带线，其一端与所述第三微带线的另一端连接， 第五微带线，其一端与所述第三微带线的另一端连接，其另一端为输出键合压点， 第一开关管，其漏极与所述第二微带线的另一端连接，其栅极接第一开关管栅极电阻的一端，其源极接地，所述第一开关管栅极电阻的另一端为第一开关管栅极馈电压点， MIM电容，其一极接所述第四微带线的另一端，及， 第二开关管，其漏极接所述MIM电容的另一极，其栅极接第二开关管栅极电阻的一端，其源极接地，所述第二开关管栅极电阻的另一端为第二开关管栅极馈电压点； 所述芯片电路用于提取开关管等效参数时： 向所述第一开关管栅极馈电压点施加等效关断电压，所述第一开关管的关断电容、漏极寄生电感、源极寄生电感及第二微带线工作于第一LC谐振频点， 向第二开关管栅极馈电压点施加等效导通电压，所述第二开关管导通时的导通电阻、漏极寄生电感、源极寄生电感、MIM电容及第四微带线工作于第二LC谐振频点， 根据第一LC谐振频点和第二LC谐振频点拟合谐振频率曲线，拟合所述谐振频率曲线得到第一开关管和第二开关管的导通电阻、关断电阻、关断电容、漏极寄生电感及源极寄生电感； 所述芯片电路用于监测工艺波动时：向输入键合压点施加测试信号，通过输出键合压点采集测试信号的反馈信号，测量或仿真所述芯片电路的S21参数曲线，观测所述S21参数曲线低频谐振点和高频谐振点的位置偏移情况，在所述低频谐振点或高频谐振点的位置发生偏移时，得出工艺波动的监测结果。

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