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中国工程物理研究院电子工程研究所张照云获国家专利权

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龙图腾网获悉中国工程物理研究院电子工程研究所申请的专利一种石英微加速度计获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116519976B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-09发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310306799.6,技术领域涉及:G01P15/125;该发明授权一种石英微加速度计是由张照云;谢国芬;赵宝林;陈俊;黄健树;王斌;沈朝阳;熊壮;杨杰;谢晋;王颉;屈名山;刘振华;王旭光设计研发完成,并于2023-03-27向国家知识产权局提交的专利申请。

一种石英微加速度计在说明书摘要公布了:本申请提供一种石英微加速度计,包括两个边极板和中间极板,边极板上设置有边部键合区、电容区和边部电气隔离区以及电容引线密封区;中间极板设置于两个边极板之间;中间极板上设置有中间键合区、质量块、挠性梁、中间电极引线区、边部电极引线区;边部键合区和中间键合区对应设置;电容区和质量块对应设置;电容引线密封区与边部电极引线区的位置相对应设置。根据本申请的加速度计,能够有效进行气密性封装。

本发明授权一种石英微加速度计在权利要求书中公布了:1.一种石英微加速度计,其特征在于,包括: 两个边极板;所述边极板上设置有边部键合区、电容区和边部电气隔离区以及电容引线密封区; 和中间极板2,所述中间极板2设置于两个所述边极板之间;所述中间极板2上设置有中间键合区21、质量块22、挠性梁23、中间电极引线区25、边部电极引线区;所述边部键合区和所述中间键合区21对应设置;所述电容区和所述质量块22对应设置;所述电容引线密封区与所述边部电极引线区的位置相对应设置; 所述边部电极引线区具有相背设置的第一表面和第二表面;所述边部电极引线区具有侧面;所述第一表面上和所述第二表面以及所述侧面上均设置有金属层;所述第一表面上的金属层和所述第二表面上的金属层以及所述侧面上的金属层电连接; 和或,所述中间电极引线区25具有相背设置的第一面和第二面,所述质量块22的侧面设置有金属层;所述第一面和所述第二面上均设置有金属层;所述质量块22侧面上的金属层电连接所述第一面上的金属层和所述第二面上的金属层; 所述电容引线密封区的表面设置有金属层;所述电容区的表面设置有金属层,所述电容引线密封区表面的金属层与所述电容区表面的金属层连接。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人中国工程物理研究院电子工程研究所,其通讯地址为:621000 四川省绵阳市绵山路64号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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