中国科学院过程工程研究所;华陆工程科技有限责任公司张豪豪获国家专利权
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龙图腾网获悉中国科学院过程工程研究所;华陆工程科技有限责任公司申请的专利一种新型三氯氢硅精馏工艺获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116639698B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310570944.1，技术领域涉及：C01B33/107；该发明授权一种新型三氯氢硅精馏工艺是由张豪豪;郑开学;陈锦溢;姚又省;丁哲;刘继三;华超设计研发完成，并于2023-05-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种新型三氯氢硅精馏工艺在说明书摘要公布了：本发明提供了一种新型三氯氢硅精馏工艺，包括依次串联的一级隔板精馏塔、二级反应精馏塔和三级隔板精馏塔。本发明工艺创新性的将反应精馏过程强化技术以及隔板精馏塔和差压热耦合精馏这两种集成节能技术应用于三氯氢硅提纯过程中，强化了各级精馏塔分离的强度。相较于传统三氯氢硅精馏工艺，本发明工艺能耗低、投资小，且能有效的去除三氯氢硅中硼、磷、碳等杂质，使三氯氢硅产品品质满足电子级二级及以上多晶硅的制备要求。
本发明授权一种新型三氯氢硅精馏工艺在权利要求书中公布了：1.一种新型三氯氢硅精馏工艺，包括依次串联的一级隔板精馏塔、二级反应精馏塔和三级隔板精馏塔，通过增加一级隔板精馏塔的操作压力从而提高塔顶蒸汽“品位”等级，作为热源与三级隔板精馏塔塔釜液相进行换热，以降低三氯氢硅精馏过程中的能耗，其特征在于，包括如下步骤： A、三氯氢硅原料进入一级隔板精馏塔中部，塔顶馏出液流入二级反应精馏塔上部，侧线四氯化硅流入四氯化硅产品贮罐，塔釜釜液流入重组分杂质贮罐； B、在所述二级反应精馏塔中部引入氯气，在塔内发生甲基二氯硅烷与氯气的光氯化反应；塔顶汽相送往尾气处理工段，塔釜釜液流入三级隔板精馏塔中部； C、三级隔板精馏塔塔顶馏出液流入低沸贮罐，侧线高纯三氯氢硅流入三氯氢硅产品贮罐，塔釜釜液流入高沸贮罐。
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