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北京科益虹源光电技术有限公司陈文斌获国家专利权

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龙图腾网获悉北京科益虹源光电技术有限公司申请的专利一种金属氟化物捕获器及准分子激光器获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116651616B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-09发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310632332.0,技术领域涉及:B03C3/34;该发明授权一种金属氟化物捕获器及准分子激光器是由陈文斌;刘斌;邢英金;吴劲松;张寅虎设计研发完成,并于2023-05-31向国家知识产权局提交的专利申请。

一种金属氟化物捕获器及准分子激光器在说明书摘要公布了:本发明提供了一种金属氟化物捕获器及准分子激光器,金属氟化物捕获器包括:缸体、风扇和增压电机;所述缸体的中间设置有进气口;所述缸体的两端设置有增压腔;所述增压腔的侧壁上设置有出气口;所述风扇可转动地设置在所述增压腔内;所述增压电机的动力输出轴与风扇连接,带动风扇转动,用于迫使净化处理后的工作气体自出气口排出。本申请通过在金属氟化物捕获器的缸体两端增设增压电机和风扇,利用风扇的高速转动实现增压的效果,从而增大回流放电腔的工作气体流量,增强金属氟化物捕获器对金属氟化物的过滤能力;在增压增大气流的同时,净化后的工作气体的循环对布儒斯特窗的吹扫除尘的能力大大提升,除尘效果也随之提升。

本发明授权一种金属氟化物捕获器及准分子激光器在权利要求书中公布了:1.一种带有金属氟化物捕获器的准分子激光器,其特征在于, 金属氟化物捕获器包括:缸体(100)、风扇(300)和增压电机(200); 所述缸体(100)的中间设置有进气口(101);所述缸体(100)的两端设置有增压腔(111); 所述增压腔(111)的侧壁上设置有出气口(102); 所述风扇(300)可转动地设置在所述增压腔(111)内; 所述增压电机(200)的动力输出轴与风扇(300)连接,带动风扇(300)转动,用于迫使净化处理后的工作气体(1)自出气口(102)排出; 准分子激光器还包括:放电腔(10); 所述放电腔(10)内设置有贯流风机(30); 所述缸体(100)的出气口(102)通过气路与放电腔(10)的进气孔连接,自缸体(100)的出气口(102)排出的工作气体(1)流经布儒斯特窗片(3)内侧面; 贯流风机(30)的两端设置有轴盘(33);轴盘(33)的外侧端通过连接轴和轴承可转动地设置在放电腔(10)侧壁上;其中一侧的连接轴伸出放电腔(10)与风扇电机70连接;工作气体(1)的回路出气端即放电腔(10)的进气孔面对轴盘(33)设置,轴盘(33)上设置有连通贯流风机(30)叶轮腔内外的通孔(36),自回路出气端排出的工作气体(1)经所述通孔(36)进入贯流风机(30)叶轮腔内,进而回流到放电腔(10)的腔体内。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人北京科益虹源光电技术有限公司,其通讯地址为:100176 北京市大兴区经济技术开发区融兴北一街19号院中寰工程4号楼一层;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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