北京中电科电子装备有限公司杨晓雄获国家专利权
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龙图腾网获悉北京中电科电子装备有限公司申请的专利一种双轴切割位置对准优化方法及装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116728623B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-09发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310726204.2,技术领域涉及:B28D5/00;该发明授权一种双轴切割位置对准优化方法及装置是由杨晓雄;王俊杰;王刚设计研发完成,并于2023-06-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种双轴切割位置对准优化方法及装置在说明书摘要公布了:本申请公开了一种双轴切割位置对准优化方法及装置,包括:对准流程:确定待切割晶圆或封装产品的切割道位置和第一角度;通过视觉识别确定每片晶圆第一条切割道和最后一条切割道之间的第一角度偏差,并将所述第一角度偏差均分到所有的切割道中;根据偏差均分之后的各切割道,确定切割刀的对准轨迹;切割流程:根据偏差均分之后的各切割道,确定双轴实际切割时第一切割刀和第二切割刀同时切割的两条切割道之间的第二角度偏差;将所述第二角度偏差平均,以及在平均后,计算实际同时切割的两刀的位置;执行切割。本申请针对双轴角度不同时相应的工作台角度和切割位置进行处理,降低了双轴切割时因产品角度不一致引入的切割误差。
本发明授权一种双轴切割位置对准优化方法及装置在权利要求书中公布了:1.一种双轴切割位置对准优化方法,其特征在于,包括如下步骤: 对准流程: 确定待切割晶圆或封装产品的切割道位置和第一角度,其中任一条所述切割道对应于切割刀对所述晶圆或封装产品的切割路径,所述切割路径包含角度和位置信息; 确定切割道中,第一条切割道和最后一条切割道之间的第一角度偏差,并将所述第一角度偏差均分至第二条切割道及其之后的所有切割道; 根据偏差均分之后的各切割道,确定切割刀的对准轨迹; 切割流程: 确定双轴切割的第一切割刀与第二切割刀同时执行一次切割所对应的两条切割道; 根据偏差均分之后的各切割道,确定所述两条切割道之间的第二角度偏差; 将所述第二角度偏差平均至所述第一切割刀和所述第二切割刀,以及在平均后,计算所述第一切割刀和所述第二切割刀的实际切割位置; 执行切割。
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