西南交通大学王刚获国家专利权
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龙图腾网获悉西南交通大学申请的专利用于调控飞行器气动阻力的仿生薄膜及其制备方法和应用获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN117286460B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-09发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202311050334.5,技术领域涉及:C23C14/30;该发明授权用于调控飞行器气动阻力的仿生薄膜及其制备方法和应用是由王刚;倪宇翔;杜宗泽;朱轲;夏钰东;谢峰;欧凯设计研发完成,并于2023-08-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于调控飞行器气动阻力的仿生薄膜及其制备方法和应用在说明书摘要公布了:本发明提供了用于调控飞行器气动阻力的仿生薄膜及其制备方法和应用,涉及气动减阻薄膜的制备技术领域,包括将不锈钢片用无水乙醇超声清洗,然后再在去离子水中超声5分钟,用氮气吹干;将ZrO2晶体倒入铜坩埚,调整夹角以及基底的自旋转速,设置沉积膜厚度与沉积速率;对ZrO2晶体进行预熔,在控制程序中将X轴交流电和Y轴直流电的电流大小设置为预设电流大小;当膜厚达到预设的膜厚时,电子束仪器自动停止运行;取出样品,得到具有仿生微结构的ZrO2三维纳米薄膜。本发明的有益效果为操作简便,制备快速,重复性高,成本低廉,能有效地制备出流体力学性能良好的纳米结构,能有效其改变表面流动特性、提高飞行器速度和效率以及调节气动性能。
本发明授权用于调控飞行器气动阻力的仿生薄膜及其制备方法和应用在权利要求书中公布了:1.一种用于调控飞行器气动阻力的仿生薄膜制备方法,其特征在于,包括以下步骤: 步骤S100、将形状规格20mm×20mm厚度为2mm的不锈钢片放在无水乙醇溶液中各超声清洗10分钟,然后再在去离子水中超声5分钟,用氮气吹干其表面水分,作为样品基底备用; 步骤S200、将纯度为99.99%的ZrO2材料倒入铜坩埚,达到坩埚容积的23,安装在电子束蒸发仪器2号源1号坩埚位置,再将备用的清洗干净的不锈钢基底固定在可旋转的基底台上,调整与基底垂直方向以及蒸汽方向之间的夹角大小为85°,基底自旋转速为0rmin,在自动控制程序中设置沉积膜厚500nm,沉积速率2As; 步骤S300、关闭电子束仪器腔门,抽真空,当腔体真空度下降至9×10-4时,打开2号源电子枪的电流开关使灯丝预热5min,打开高压开关,控制程序设置为手动运行,通过调节X轴交流电和Y轴直流电的电流大小控制电子束光斑大小和位置对坩埚中的材料预熔,待材料表面轻微熔化,蒸发清零,在控制程序中将2号源1号坩埚将X轴交流电和Y轴直流电的电流大小设置为预设电流大小,控制程序设置为自动运行; 步骤S400、点击沉积,控制程序根据实时沉积速率沉积ZrO2薄膜,膜厚达到设置膜厚250nm时,暂停沉积,切手动模式,关闭2号源挡板,设置基底自旋转速为1rmin并旋转30s后再将基底自旋转速设置为0rmin,切回自动模式,开始沉积,膜厚达到设置膜厚500nm时机器自动停止运行;沉积结束后打开取件开关,打开腔门,取出样品,即得到具有仿生微结构的ZrO2三维纳米薄膜。
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