广东工业大学龙杰才获国家专利权
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龙图腾网获悉广东工业大学申请的专利一种曲折型硅纳米结构的刻蚀加工方法及装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117276063B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311230415.3，技术领域涉及：H01L21/306；该发明授权一种曲折型硅纳米结构的刻蚀加工方法及装置是由龙杰才;陈桪;谢丛锴;陈新;陈云;董善坤;姚敬松;劳斯德设计研发完成，并于2023-09-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种曲折型硅纳米结构的刻蚀加工方法及装置在说明书摘要公布了：本申请属于微纳结构技术领域，尤其涉及一种曲折型硅纳米结构的刻蚀加工方法及装置；本申请提供的曲折型硅纳米结构的刻蚀加工装置利用控制系统控制入口蠕动泵将组分添加容器中的刻蚀溶液输入刻蚀容器刻蚀硅基体，并通过控制入口蠕动泵和出口蠕动泵的泵速，实现了不同刻蚀溶液的无级调节，刻蚀溶液的组分浓度调节精确度高，从而提高了曲折型硅纳米结构的刻蚀精确度，能够解决现有技术中曲折型硅纳米结构的刻蚀精确度较低的技术问题。
本发明授权一种曲折型硅纳米结构的刻蚀加工方法及装置在权利要求书中公布了：1.一种曲折型硅纳米结构的刻蚀加工装置，其特征在于，包括：第一组分添加容器、第一入口蠕动泵、第二组分添加容器、第二阀门、第三组分添加容器、第三阀门、第二入口蠕动泵、刻蚀容器、出口蠕动泵、控制系统； 所述第一入口蠕动泵连通的入口所述第一组分添加容器，用于输入第一组分添加容器中的刻蚀溶液； 所述第二入口蠕动泵的入口通过第二阀门连通第二组分添加容器，用于输入第二组分添加容器中的刻蚀溶液； 所述第二入口蠕动泵的入口通过第三阀门连通第二组分添加容器，用于输入第三组分添加容器中的刻蚀溶液； 所述刻蚀容器的入口与所述第一入口蠕动泵的出口、第二入口蠕动泵的出口连通，用于采用第一组分添加容器、第二组分添加容器、第三组分添加容器中的刻蚀溶液进行刻蚀； 所述出口蠕动泵的入口与所述刻蚀容器的出口连通，用于输出刻蚀容器中的刻蚀溶液； 所述控制系统与所述第一入口蠕动泵、所述第二入口蠕动泵和所述出口蠕动泵电连接，用于控制所述第一入口蠕动泵、所述第二入口蠕动泵和所述出口蠕动泵的泵速。
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