常州六边形纳米科技有限公司弓晓晶获国家专利权
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龙图腾网获悉常州六边形纳米科技有限公司申请的专利一种在柔性碳纳米管薄膜表面制造图案的方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN117344282B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-09发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202311298723.X,技术领域涉及:C23C16/04;该发明授权一种在柔性碳纳米管薄膜表面制造图案的方法是由弓晓晶;郭池设计研发完成,并于2023-10-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种在柔性碳纳米管薄膜表面制造图案的方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种在柔性碳纳米管薄膜表面制造图案的方法,包括S1:将铺放有碳纳米管薄膜和遮蔽模块的陶瓷托盘放置于管式炉的炉膛内;S2:检查管式炉前后两端的氩气流通畅性,设置管式炉升温速率、反应温度、反应时间,启动升温程序;S3:当管式炉内部的温度达到设定的反应温度时,向管式炉内部注入碳源和氢气,反应生长无定型碳层,得到图案化的碳纳米管薄膜。本发明的方法,即在碳纳米管薄膜表面覆盖特殊形状的遮蔽模块,二次气相沉积生长出银亮色的无定型碳沉积层,此无定型碳沉积层硬度好,并且与碳纳米管薄膜表面通过C‑C化学键结合,结合牢固性好,在不破坏碳纳米管薄膜的情况下,形成尺寸、形状可控的增材图案。
本发明授权一种在柔性碳纳米管薄膜表面制造图案的方法在权利要求书中公布了:1.一种在柔性碳纳米管薄膜表面制造图案的方法,其特征在于,包括如下操作步骤: S1:将碳纳米管薄膜铺放于陶瓷托盘上,并将碳纳米管薄膜边缘毛刺裁切去除,将若干遮蔽模块铺放于碳纳米管薄膜上,然后将铺放有碳纳米管薄膜和遮蔽模块的陶瓷托盘放置于管式炉的炉膛内; S2:向管式炉内部持续通入氩气,检查管式炉前后两端的氩气流通畅性,设置管式炉升温速率、反应温度、反应时间,然后启动升温程序; S3:当管式炉内部的温度达到设定的反应温度时,通过注射泵一向炉膛内部持续注入无水乙醇,10~20min后通过注射泵二向炉膛内部持续注入无水甲醇,同时向管式炉内部持续通入氢气,达到设定反应时间后,停止通入无水乙醇、无水甲醇和氢气,自然冷却至室温,得到图案化的碳纳米管薄膜; 其中:遮蔽模块按照1mm的间距尺寸阵列铺放于碳纳米管薄膜上; 所述的步骤S2中,氩气流量为100~120sccm、升温速率为8~15℃min、反应温度为1000~1200℃、反应时间为0.5~2h; 所述的步骤S3中,无水乙醇的流量为0.05~0.15mLmin、无水甲醇的流量为0.03~0.10mLmin; 所述的步骤S3中,氢气的流量为50sccm或70sccm或100sccm。
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