株式会社斯库林集团竹市祐実获国家专利权
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龙图腾网获悉株式会社斯库林集团申请的专利狭缝喷嘴、基板处理装置及基板处理方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118629894B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311446934.3，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权狭缝喷嘴、基板处理装置及基板处理方法是由竹市祐実;塩田明仁;柏野翔伍设计研发完成，并于2023-11-02向国家知识产权局提交的专利申请。
本狭缝喷嘴、基板处理装置及基板处理方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种狭缝喷嘴、基板处理装置及基板处理方法，其在使刮刀相对于附着有处理液的狭缝喷嘴的前端部抵接的同时相对移动时，可抑制所述前端部的处理液痕的产生或量。本发明满足接触角条件。即，满足处理液相对于前端部的表面中与刮刀抵接的喷嘴侧抵接区域的接触角θn大于处理液相对于刮刀的表面中与前端部抵接的刮刀侧抵接区域的接触角θs的条件。因此，随着刮刀的相对移动，位于刮刀与狭缝喷嘴的前端部之间的处理液的移动目的地主要为刮刀。在抵接轨迹上不残存处理液，或者即便残存，处理液的余量也比以往大幅减少。
本发明授权狭缝喷嘴、基板处理装置及基板处理方法在权利要求书中公布了：1.一种狭缝喷嘴，具有延伸设置有用于喷出处理液的狭缝状的喷出口的前端部，在从所述喷出口喷出所述处理液之后利用在与所述前端部抵接的同时沿所述喷出口的延伸设置方向相对移动的刮刀，从所述前端部刮取所述处理液，所述狭缝喷嘴的特征在于， 具有对所述前端部实施了疏液处理的表面处理区域， 所述处理液相对于所述表面处理区域中与所述刮刀抵接的喷嘴侧抵接区域的接触角，大于所述处理液相对于所述刮刀的表面中与所述表面处理区域抵接的刮刀侧抵接区域的接触角， 所述表面处理区域的下方端，与所述刮刀相对于所述狭缝喷嘴的相对移动时所述刮刀的上方端所描绘的抵接轨迹一致，或位于所述抵接轨迹下方， 且所述表面处理区域的上方端位于所述抵接轨迹上方。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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