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龙图腾网获悉光科芯图(北京)科技有限公司申请的专利重载位移调节机构获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120215213B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311824375.5，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权重载位移调节机构是由黄征设计研发完成，并于2023-12-27向国家知识产权局提交的专利申请。

本重载位移调节机构在说明书摘要公布了：本发明涉及半导体设备技术领域，公开了一种重载位移调节机构，重载位移调节机构包括：第一板体、第二板体及第三板体；第一浮动部，具有第一压紧件；第一驱动件，输出轴与第一连接部相接；第一连接部被第一压紧件压紧固定于第一板体；第一压紧件的压紧力可调；第二浮动部，具有第二压紧件；第二驱动件，输出轴与第二连接部相接；第二连接部被第二压紧件压紧固定于第二板体；第二压紧件的压紧力可调；本发明提供的重载位移调节机构，驱动件与板体借助浮动部浮动连接，浮动部能够通过松压、增压调节以解决在位移过程中遇到的卡顿、机械卡死，保证重载结构位移调节的精密度，实现重载精密调节的目的，兼顾重载与高精度精密位移调节的需求。

本发明授权重载位移调节机构在权利要求书中公布了：1.一种重载位移调节机构，其特征在于，包括： 至少部分地依次叠合并滑动连接的第一板体（1）和第二板体（2）； 第一浮动部（4），固定于所述第一板体（1），所述第一浮动部（4）具有第一压紧件（41），所述第一压紧件（41）的压紧力可调； 第一驱动件（5），固定于所述第二板体（2），所述第一驱动件（5）的输出轴与所述第一板体（1）浮动连接，适于驱动所述第一板体（1）沿第一方向移动； 第一连接部（6），与所述第一驱动件（5）相接；所述第一连接部（6）被所述第一压紧件（41）抵压并浮动连接于所述第一板体（1）； 正常状态下，所述第一连接部（6）被所述第一压紧件（41）压紧固定于所述第一板体（1），所述第一驱动件（5）适于驱动所述第一板体（1）移动； 第一异常状态下，所述第一压紧件（41）调节作用在所述第一连接部（6）处的压紧力，适于使所述第一连接部（6）与所述第一板体（1）之间松缓或重新压紧； 第三板体（3），滑动连接于所述第二板体（2）背离所述第一板体（1）的一侧； 第二浮动部（7），固定于所述第二板体（2），所述第二浮动部（7）具有第二压紧件（71），所述第二压紧件（71）的压紧力可调； 第二驱动件（8），固定于所述第三板体（3），所述第二驱动件（8）的输出轴与所述第二板体（2）浮动连接，适于驱动所述第二板体（2）及所述第一板体（1）沿第二方向移动； 第二连接部（9），与所述第二驱动件（8）相接；所述第二连接部（9）被所述第二压紧件（71）抵压并浮动连接于所述第二板体（2）； 正常状态下，所述第二连接部（9）被所述第二压紧件（71）压紧固定于所述第二板体（2），所述第二驱动件（8）适于驱动所述第二板体（2）移动； 第一异常状态下，所述第二压紧件（71）调节作用在所述第二连接部（9）处的压紧力，适于使所述第二连接部（9）与所述第二板体（2）之间松缓或重新压紧。

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