深圳技术大学董波获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳技术大学申请的专利光纤微腔湿度传感器及其制造方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118169077B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410317902.1，技术领域涉及：G01N21/45；该发明授权光纤微腔湿度传感器及其制造方法是由董波;张森鹏;陈宗渝;黄沃斌设计研发完成，并于2024-03-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本光纤微腔湿度传感器及其制造方法在说明书摘要公布了：本发明提供了一种光纤微腔湿度传感器及其制造方法，该光纤微腔湿度传感器，包括硅片、湿敏材料层、单模光纤以及传感器外壳，湿敏材料层溅射于所述硅片的内表面，所述湿敏材料层与所述硅片的外表面之间形成硅片腔；单模光纤伸向且不接触所述湿敏材料层，所述单模光纤的伸出端面与所述湿敏材料层之间形成空气腔；传感器外壳包括固定所述湿敏材料层的第一支撑台以及固定所述单模光纤的第二支撑台，所述单模光纤穿设于所述第二支撑台并伸向所述第一支撑台，用于使所述单模光纤的伸出端面与所述湿敏材料层之间形成所述空气腔；其中，所述空气腔与所述硅片腔构建成级联结构，以实现光学游标效应对传感器灵敏度的放大。
本发明授权光纤微腔湿度传感器及其制造方法在权利要求书中公布了：1.一种光纤微腔湿度传感器，其特征在于，包括： 硅片， 湿敏材料层，溅射于所述硅片的内表面，所述湿敏材料层与所述硅片的外表面之间形成硅片腔，所述湿敏材料层为MoS2材料； 单模光纤，伸向且不接触所述湿敏材料层，所述单模光纤的伸出端面与所述湿敏材料层之间形成空气腔； 传感器外壳，包括固定所述湿敏材料层的第一支撑台以及固定所述单模光纤的第二支撑台，所述单模光纤的伸出端面穿设于所述第二支撑台并伸向所述第一支撑台，用于使所述单模光纤的伸出端面与所述湿敏材料层之间形成所述空气腔；传感器外壳还包括若干连接柱，所述连接柱的两端分别连接所述第一支撑台以及所述第二支撑台，使所述第一支撑台与所述第二支撑台之间形成外壳镂空腔； 其中，所述空气腔与所述硅片腔构建成级联结构，以实现光学游标效应对传感器灵敏度的放大。
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