上海至纯洁净系统科技股份有限公司;江苏启微半导体设备有限公司陈蕖获国家专利权
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龙图腾网获悉上海至纯洁净系统科技股份有限公司;江苏启微半导体设备有限公司申请的专利一种晶圆盒的定位锁止机构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223321249U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-09发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202420651668.1，技术领域涉及：H01L21/68；该实用新型一种晶圆盒的定位锁止机构是由陈蕖;徐铭;屠国强;刘大威设计研发完成，并于2024-03-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆盒的定位锁止机构在说明书摘要公布了：本实用新型涉及晶圆加工技术领域，具体涉及一种晶圆盒定位锁止机构，包括：底板，底板上分布有多个定位销，定位销与外部的晶圆盒的底部的卡槽相互匹配；多底板的下方设置有锁定机构，定位机构包括一个锁定卡扣，锁定卡扣与晶圆盒的底部的锁定口相互匹配；锁定卡扣自底板下方穿过让位孔以接触锁定口，并锁定晶圆盒。有益效果在于：当晶圆盒被外部的机械臂、工装等放置到底板上时，可通过插入定位销来实现自动对位调整过程，并通过底部的锁定卡扣来实现对晶圆盒的锁定，随后可取放晶圆。上述过程不需要引入机械臂进行调节控制，且仅需要在原有的工艺设备上对用于承托晶圆盒的底板进行替换即可使用，降低了使用成本。
本实用新型一种晶圆盒的定位锁止机构在权利要求书中公布了：1.一种晶圆盒定位锁止机构，其特征在于，包括： 定位单元，包括底板及设置在所述底板上的多个定位销，所述定位销与晶圆盒的底部的卡槽相互匹配，以定位所述晶圆盒； 锁止单元，包括设置在所述底板下方的制动装置及锁定卡扣，所述制动装置带动所述锁定卡扣穿过所述底板的让位孔以接触晶圆盒的锁定口，以锁定所述晶圆盒。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人上海至纯洁净系统科技股份有限公司;江苏启微半导体设备有限公司，其通讯地址为：200241 上海市闵行区紫海路170号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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