株式会社斯库林集团荒木隆道获国家专利权
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龙图腾网获悉株式会社斯库林集团申请的专利基板处理装置及基板处理方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118818909B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410454999.0，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权基板处理装置及基板处理方法是由荒木隆道;三林武;上林诚设计研发完成，并于2024-04-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板处理装置及基板处理方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种能够减少基板的搬运进入待机状态的基板处理装置和基板处理方法。在将对基板进行曝光处理的前工序的处理的前处理部和进行后工序的处理的后处理部与两台曝光装置连接的接口部，配置有复数个搬运机械手和复数个模块。接口部有向一台曝光装置搬运基板的第一搬运路径和向另一台曝光装置搬运基板的第二搬运路径。使基板在作为相对短的搬运路径的第一搬运路径所包括的第一调温器中的处理时间仅延长规定的延迟时间。能够使沿着第一搬运路径搬运基板所需的时间与沿着第二搬运路径搬运基板所需的时间大体一致，能够减少基板在第一搬运路径中的搬运进入待机状态。
本发明授权基板处理装置及基板处理方法在权利要求书中公布了：1.一种基板处理装置，对一批次所包括的复数张基板依次进行曝光处理的前工序的处理，并进行曝光处理的后工序的处理，其中， 所述基板处理装置具有： 前处理部，执行所述前工序的处理； 后处理部，执行所述后工序的处理； 接口部，将所述前处理部和所述后处理部与第一曝光装置和第二曝光装置连接，具有搬运基板的复数个搬运机械手和复数个模块；以及 控制部，控制所述复数个搬运机械手和所述复数个模块， 从所述前处理部经所述第二曝光装置到达所述后处理部的第二搬运路径比从所述前处理部经所述第一曝光装置到达所述后处理部的第一搬运路径长， 所述一批次所包括的所述复数张基板交替地沿着所述第一搬运路径或所述第二搬运路径被搬运， 所述控制部使基板在所述第一搬运路径所包括的特定模块中的处理时间仅延长规定的延迟时间，所述特定模块是对基板进行调温的调温模块。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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