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龙图腾网获悉哈尔滨工业大学申请的专利一种低能中性粒子束发生装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118555724B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410610857.9，技术领域涉及：H05H1/24；该发明授权一种低能中性粒子束发生装置是由张湧颀;鄂鹏;卢耀文;王欢设计研发完成，并于2024-05-16向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种低能中性粒子束发生装置在说明书摘要公布了：一种低能中性粒子束发生装置，属于中性粒子束技术领域。离子束经由引出装置加速进入离子束流偏转装置，此处设置分流通道，在沿离子源轴向通道上安装分子泵。离子束流经过偏转通道后进入离子束流分析装置和中性化装置区域，并通过带电粒子剥离装置。本发明基于离子源产生离子束，并通过离子束流引出装置对离子束流进行准直以及能量调控；通过离子束流偏转和分子泵实现束流中中性成分的剥离；基于表面掠射中和，对离子进行中性化；中性化后的束流通过带电粒子剥离装置，去除束流中的带电成分。通过中性粒子束检测装置，可对获得的中性粒子束的能量分布和束流密度进行定量测量，以便用于中性粒子探测器的校准标定，以及中性束刻蚀的过程研究。

本发明授权一种低能中性粒子束发生装置在权利要求书中公布了：1.一种低能中性粒子束发生装置，其特征在于：包括进气口1、放电腔室2、离子引出装置3、离子束流偏转装置4、分子泵5、离子束流分析装置6、中性化装置7、带电粒子剥离装置8及中性粒子束检测装置9；所述放电腔室2前端设置进气口1，后端出口处设置离子引出装置3，所述离子引出装置3出口处设置离子束流偏转装置4，所述离子束流偏转装置4后侧设置分流通道，其中一个通道上安装分子泵5，另一个通道内设置离子束流分析装置6和中性化装置7，并在所述另一个通道的出口处设置带电粒子剥离装置8，所述中性粒子束检测装置9设置在带电粒子剥离装置8的出口处，所述中性化装置7和离子束流分析装置6通过传动机构实现径向位置的调整，所述传动机构为直线传动机构，且由波纹管密封，所述中性粒子束检测装置9包括电子枪9-1、平板能量分析装置9-2、微通道板9-3及屏蔽外壳9-4；两个所述电子枪9-1对称放置在带电粒子剥离装置8和平板能量分析装置9-2之间，所述平板能量分析装置9-2包括上金属板和下金属板，所述上金属板保持在地电位，下金属板施加扫描正电压，所述上金属板上开有入口狭缝和出口狭缝，所述微通道板9-3安装在出口狭缝处，微通道板9-3外侧设置屏蔽外壳9-4。

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