中国科学院长春光学精密机械与物理研究所张博获国家专利权
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龙图腾网获悉中国科学院长春光学精密机械与物理研究所申请的专利光栅刻划机相对最优初始状态自动优化方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN118859392B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-09发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202410901677.6,技术领域涉及:G02B5/18;该发明授权光栅刻划机相对最优初始状态自动优化方法是由张博;于宏柱;李文昊;姚雪峰;吉日嘎兰图;于硕;梁烘智;王锐博设计研发完成,并于2024-07-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本光栅刻划机相对最优初始状态自动优化方法在说明书摘要公布了:本发明涉及光栅制造技术领域,尤其涉及一种光栅刻划机相对最优初始状态自动优化方法,在控制系统中设定最小加工速度、最大加工速度以及刀架系统和分度系统在分度方向上的目标相对误差;控制系统根据最小加工速度和最大加工速度控制分度系统和刻划系统对待加工光栅进行加工,得到不同加工速度下刀架系统和分度系统在分度方向上的实际相对误差,对实际相对误差和目标相对误差进行比较,并根据比较结果采用二分法循环迭代确定最后的加工速度,在保证刻划过程中仪器相对稳定的同时提升确定加工速度的准确性。
本发明授权光栅刻划机相对最优初始状态自动优化方法在权利要求书中公布了:1.一种光栅刻划机相对最优初始状态自动优化方法,其特征在于:具体包括以下步骤: S1:将刀架系统安装在分度系统上,待加工光栅安装在垂直于所述分度系统的运动方向的刻划系统上,偏差测量系统安装在所述分度系统和所述刻划系统上;控制系统分别与所述分度系统、所述刻划系统与所述偏差测量系统连接; 在所述步骤S1中,所述分度系统包括分度气浮位移台;其中,所述分度气浮位移台的分度固定基座安装在工作平台上,所述刀架系统安装在所述分度气浮位移台的分度移动台上,使所述分度移动台带动所述刀架系统沿所述分度固定基座进行移动;所述分度固定基座与所述控制系统连接,使所述分度固定基座根据所述控制系统的控制信号驱动所述分度移动台; 在所述步骤S1中,所述刻划系统包括刻划气浮位移台;其中,所述刻划气浮位移台的刻划固定基座安装在工作平台上,且所述刻划固定基座垂直于所述分度固定基座设置;所述待加工光栅通过光栅底座固定安装在所述刻划气浮位移台的刻划移动台上;所述刻划固定基座与所述控制系统连接,使所述刻划固定基座根据所述控制系统的控制信号驱动所述刻划移动台; 在所述步骤S1中,所述偏差测量系统包括激光器、测量镜、干涉计、探测器和测量板卡;其中,所述激光器和所述干涉计安装在所述分度移动台上,所述测量镜安装在所述刻划移动台上,使所述激光器发出的参考激光经所述干涉计照射在所述测量镜上,所述测量镜将产生的反射激光反射回所述干涉计中;所述参考激光与所述反射激光在所述干涉计中发生干涉;所述探测器与所述干涉计连接,所述干涉计产生的干涉信号传递到所述探测器中,所述探测器再将探测结果传递到所述测量板卡中,所述测量板卡根据接收到的探测结果进行计算,得到不同加工速度下所述刀架系统和所述分度系统在所述分度系统的运动方向上的位移偏差,再将所述位移偏差传输到所述控制系统中; S2:在所述控制系统中设定对所述待加工光栅加工的最小加工速度和最大加工速度,以及所述刀架系统和所述分度系统在所述分度系统的运动方向上的目标相对误差; S3:所述控制系统根据所述最小加工速度控制所述分度系统和所述刻划系统对所述待加工光栅进行加工,并通过所述偏差测量系统得到在所述最小加工速度下对应的所述刀架系统和所述分度系统在所述分度系统的运动方向上的实际相对误差; S4:以所述最大加工速度替换所述最小加工速度,并重复所述步骤S3,得到在所述最大加工速度下对应的所述刀架系统和所述分度系统在所述分度系统的运动方向上的实际相对误差; S5:所述控制系统将当前两个实际相对误差与所述目标相对误差进行比较:若两个实际相对误差中的最小值小于等于所述目标相对误差,所述最小值对应的加工速度即为目标加工速度,并停止对所述待加工光栅进行加工;若两个实际相对误差中的最小值大于所述目标相对误差,计算两个实际相对误差对应的加工速度的平均速度,以所述平均速度替换当前两个实际相对误差中的最大值对应的加工速度,再重复所述步骤S3计算所述平均速度对应的实际相对误差; S6:将所述最小值和所述平均速度的实际相对误差与所述目标相对误差进行比较,并重复所述步骤S5,直至当前两个实际相对误差中的最小值小于等于所述目标相对误差,此时的最小值对应的加工速度即为目标加工速度。
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