兆滕科技(无锡)有限公司孙德兆获国家专利权
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龙图腾网获悉兆滕科技(无锡)有限公司申请的专利一种CVD干刻下部电极获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223321232U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-09发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421818774.0，技术领域涉及：H01J37/32；该实用新型一种CVD干刻下部电极是由孙德兆;黄东设计研发完成，并于2024-07-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种CVD干刻下部电极在说明书摘要公布了：本实用新型涉及干刻下部电极技术领域，且公开了一种CVD干刻下部电极，包括冶具板、安装在冶具板相对侧壁上的挂钩，以及电级本体。该CVD干刻下部电极，通过在电级本体与冶具板之间铺设了防腐膜，使电级本体在加工的过程中，能够达到防止腐蚀的情况发生，通过在冶具板上卡接有两组防腐挡板，进一步能够防止电级本体与冶具板上零件接触而发生腐蚀的情况发生，进一步达到保护电级本体的效果，通过定位弹簧伸张的弹力，使定位杆和定位板能够保持向下移动的趋势，从而达到将防腐膜固定在冶具板上的效果，进而能够有效防止防腐膜发生滑动，使电级本体与冶具板直接接触，而造成腐蚀的情况发生，进而达到全面保护电级本体的效果。
本实用新型一种CVD干刻下部电极在权利要求书中公布了：1.一种CVD干刻下部电极，包括冶具板1、安装在冶具板1相对侧壁上的挂钩8，以及电级本体6，其特征在于：所述冶具板1上设置有防腐膜13，其中，电级本体6放置在防腐膜13上，所述冶具板1的上表面相对安装有两个安装架2，两个安装架2的内部均设置有弹力定位组件，弹力定位组件的底部安装有定位板15，其中，防腐膜13的两端分别被固定在两个定位板15与冶具板1之间，所述冶具板1上卡接有两个定位块5，两个定位块5之间卡接有防腐挡板4，防腐挡板4与电级本体6的侧壁相靠近。
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