中微半导体设备(上海)股份有限公司刘凯获国家专利权
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龙图腾网获悉中微半导体设备(上海)股份有限公司申请的专利一种治具获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223321233U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-09发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422053744.1，技术领域涉及：H01J37/32；该实用新型一种治具是由刘凯;郝永亮设计研发完成，并于2024-08-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种治具在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种治具，用于装卸静电吸盘，其包括：主体框件，其可以固定安装在所述反应腔顶部；支撑件，其与所述主体框件固定连接且可以位于所述反应腔的顶部；至少两个限位件，每个所述限位件贯穿所述支撑件且可上下移动；平衡件，其与各个所述限位件的下端固定连接，且在水平面内具有延展的形状；装配杆，其沿横向与所述平衡件固定连接且至少位于两个所述限位件的下端之间，所述装配杆的两端设有可以与静电吸盘固定连接的固定部；升降装置，其一端设置在所述支撑件上，另一端穿过所述支撑件与装配杆连接，以驱动装配杆升降，实现静电吸盘的水平装卸，减少了静电吸盘的磕碰损伤。
本实用新型一种治具在权利要求书中公布了：1.一种治具，用于装卸设置在半导体处理装置的反应腔内的静电吸盘，其特征在于，包括： 主体框件，其可以固定安装在所述反应腔顶部； 支撑件，其与所述主体框件固定连接且可以位于所述反应腔的顶部； 至少两个限位件，每个所述限位件贯穿所述支撑件且可上下移动； 平衡件，其与各个所述限位件的下端固定连接，且在水平面内具有延展的形状； 装配杆，其沿横向与所述平衡件固定连接且至少位于两个所述限位件的下端之间，所述装配杆的两端设有可以与静电吸盘固定连接的固定部； 升降装置，其一端设置在所述支撑件上，另一端穿过所述支撑件与装配杆连接，以驱动装配杆升降，实现装卸静电吸盘。
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