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龙图腾网获悉四川三三零半导体有限公司申请的专利一种带有压缩空气冷却的微波等离子体设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223316782U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-09发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422088868.3，技术领域涉及：C23C16/511；该实用新型一种带有压缩空气冷却的微波等离子体设备是由李小岚;刘旭东;冯建伟设计研发完成，并于2024-08-27向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种带有压缩空气冷却的微波等离子体设备在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种带有压缩空气冷却的微波等离子体设备，包括设备本体和贯穿设备本体的顶壁并延伸至耦合腔内用于输送冷却压缩空气的底部开口的风冷天线，耦合腔内设有位于风冷天线正下方的石英微波窗口，耦合腔周向分布有若干个散热通孔，进风管，出风口，水冷管，进水管，回水管，搅拌轴，搅拌叶片，驱动模块，风冷辅助模块。根据本实用新型的带有压缩空气冷却的微波等离子体设备，不仅能够能够满足人们的基本需求，并利用冷却压缩空气及时有效地将腔体内的高温通过热交换冷却，避免石英微波窗口的损坏，且能够使得水冷结构中冷却水的冷却效果得到充分地发挥，从而提高对耦合腔的冷却效果，并避免造成对冷却水的冷却效果的浪费。

本实用新型一种带有压缩空气冷却的微波等离子体设备在权利要求书中公布了：1.一种带有压缩空气冷却的微波等离子体设备，包括设备本体101和贯穿设备本体101的顶壁并延伸至耦合腔102内用于输送冷却压缩空气的底部开口的风冷天线103，耦合腔102内设有位于风冷天线103正下方的石英微波窗口104，耦合腔102周向分布有若干个散热通孔115105，风冷天线103的顶部侧端设置有进风管106，风冷天线103的底部设置有出风口107，其特征在于：所述风冷天线103的内部还通过多个横杆109设置有上端延伸至风冷天线103上方的水冷管108，水冷管108的上端侧部设置有进水管110，水冷管108的底部设置有穿过风冷天线103且向上穿过设备本体101顶壁的回水管111，水冷管108的顶部竖向贯穿且转动设置有搅拌轴112，搅拌轴112的侧端设置有与水冷管108相适配的搅拌叶片113，设备本体101上设置有用于对搅拌轴112进行转动驱动的驱动模块，风冷天线103的底部还设置有风冷辅助模块。

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