合肥微睿科技股份有限公司蔡广云获国家专利权
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龙图腾网获悉合肥微睿科技股份有限公司申请的专利一种气体管路系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223319328U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-09发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422105705.1，技术领域涉及：F25D1/00；该实用新型一种气体管路系统是由蔡广云;刘磊;郭利利;顾为飞;张乐乐;陈禹设计研发完成，并于2024-08-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种气体管路系统在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种气体管路系统，属于玻璃基板冷却设备技术领域。本实用新型包括若干出气管，所述出气管位于腔室内，且所述出气管的两端分别与所述腔室相对的两腔室侧壁连接；所述出气管的至少一端与总进气管连接；所述出气管内设置气流通道，所述出气管靠近所述腔室中心的一侧开设若干与所述气流通道连通的出气孔。该方案中通过在腔室中设置多个出气管，每个出气管上设置多个出气孔，使出气孔分散在腔室内的不同部位，经出气孔吹出的冷却气体能够在腔室内快速扩散，从而能够对玻璃基板进行均匀冷却。
本实用新型一种气体管路系统在权利要求书中公布了：1.一种气体管路系统，设置在液晶显示面板薄膜沉积设备机台上，用于对DSSL腔室中的玻璃基板进行冷却，其特征在于：包括若干出气管（2），所述出气管（2）位于腔室内并设置在玻璃基板的上方，且所述出气管（2）的两端分别与所述腔室相对的两腔室侧壁（3）连接； 所述出气管（2）的至少一端与总进气管（1）连接；所述出气管（2）内设置气流通道（21），所述出气管（2）靠近所述腔室中心的一侧开设若干与所述气流通道（21）连通的出气孔（22），所述出气孔（22）朝向玻璃基板设置； 所述出气孔（22）沿所述出气管（2）延伸方向间隔设置； 所述出气孔（22）沿所述出气管（2）延伸方向设置多排；其中一排所述出气孔（22）位于所述出气管（2）正下方，其他排所述出气孔（22）位于该排所述出气孔（22）的侧面并相对该排所述出气孔（22）偏移角度α设置，角度α不大于50°。
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