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中国科学院近代物理研究所刘俊亮获国家专利权

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龙图腾网获悉中国科学院近代物理研究所申请的专利一种提高三维原子探针图像重构精度系统和方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119064640B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-09发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411248052.0,技术领域涉及:G01Q40/00;该发明授权一种提高三维原子探针图像重构精度系统和方法是由刘俊亮;于得洋;王伟设计研发完成,并于2024-09-06向国家知识产权局提交的专利申请。

一种提高三维原子探针图像重构精度系统和方法在说明书摘要公布了:本发明属于原子探针层析成像技术领域,涉及一种提高三维原子探针图像重构精度系统和方法,包括:APT样品旋转装置,用于放置APT样品,并带动APT样品绕轴旋转;聚焦电子束发生装置,用于产生照射APT样品的聚焦电子束;电子束偏转装置,用于对聚焦电子束进行调节;偏转后聚焦电子束照射预定角度的APT样品,形成背散射电子信号,背散射电子探测装置,用于采集背散射电子信号;背散射电子探测装置设置在聚焦电子束发生装置和电子束偏转装置之间,其中心位置设置供聚集电阻通过的通孔。其能够在APT测试过程中原位监测APT样品的表面形貌,并得到相应的电场分布。重建过程可根据表面形貌和相应的电场分布对结果进行校正,从而提高重建精度。

本发明授权一种提高三维原子探针图像重构精度系统和方法在权利要求书中公布了:1.一种提高三维原子探针图像重构精度系统,其特征在于,包括:APT样品旋转装置、聚焦电子束发生装置、电子束偏转装置和背散射电子探测装置; 所述APT样品旋转装置,用于放置APT样品,并带动所述APT样品绕轴旋转; 所述聚焦电子束发生装置,用于产生照射所述APT样品的聚焦电子束; 所述电子束偏转装置,用于对所述聚焦电子束进行调节; 偏转后聚焦电子束照射预定角度的APT样品,形成背散射电子信号,所述背散射电子探测装置,用于采集所述背散射电子信号; 所述背散射电子探测装置设置在所述聚焦电子束发生装置和电子束偏转装置之间,其中心位置设置供所述聚焦电子束通过的通孔。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人中国科学院近代物理研究所,其通讯地址为:730013 甘肃省兰州市城关区南昌路509号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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