全芯智造技术有限公司请求不公布姓名获国家专利权
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龙图腾网获悉全芯智造技术有限公司申请的专利用于评估测量结果的方法、设备和介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118799326B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411288179.5，技术领域涉及：G06T7/00；该发明授权用于评估测量结果的方法、设备和介质是由请求不公布姓名设计研发完成，并于2024-09-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于评估测量结果的方法、设备和介质在说明书摘要公布了：根据本公开的实施例提供了用于评估测量结果的方法、设备和介质。在该方法中，在针对目标对象的拍摄影像中确定多个标记点。这些标记点分别对应于目标对象的测量信号,这些标记点包括第一组标记点和与第一组标记点对应的第二组标记点，第一组标记点和第二组标记点中相对应的标记点之间的间距用于对目标对象进行测量。然后，确定目标对象在拍摄影像中所呈现的轮廓。进一步地，基于第一组标记点、第二组标记点以及多个标记点与轮廓之间的距离，评估针对目标对象的测量结果。以此方式，可以以较低的误检率快速且准确地评估测量结果。
本发明授权用于评估测量结果的方法、设备和介质在权利要求书中公布了：1.一种用于评估测量结果的方法，其特征在于，包括： 在针对晶圆上的目标对象的拍摄影像中确定多个标记点，所述多个标记点分别对应于所述目标对象的测量信号，所述多个标记点包括第一组标记点和与所述第一组标记点和第二组标记点，所述第一组标记点和所述第二组标记点在数量上一一对应，所述第一组标记点和所述第二组标记点中相对应的标记点之间的间距用于对所述目标对象进行线宽测量； 确定所述目标对象在所述拍摄影像中所呈现的轮廓； 确定所述第一组标记点的排布和所述第二组标记点的排布是否存在异常； 响应于所述第一组标记点的排布和所述第二组标记点的排布中的至少一者存在异常，确定与标记点排布相关的排布分量具有第一值； 响应于所述第一组标记点和所述第二组标记点中的每组标记点的排布均为正常，确定所述排布分量具有第二值，其中所述第一值小于所述第二值，所述排布分量与针对所述目标对象的测量结果的准确度正相关；以及 基于所述排布分量以及所述多个标记点与所述轮廓之间的距离，生成针对所述测量结果的评估结果。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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