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龙图腾网获悉盛吉盛精密装备(上海)有限公司申请的专利一种晶圆竖直缺陷检测装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223319791U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-09发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422284060.2，技术领域涉及：G01B21/24；该实用新型一种晶圆竖直缺陷检测装置是由史庆飞;许志彬;兰海燕;李士昌设计研发完成，并于2024-09-19向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆竖直缺陷检测装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及一种晶圆竖直缺陷检测装置，其包括设备骨架、晶圆检测组件和晶圆承载及翻转组件。晶圆检测组件包括直线度复测装置和检测导向驱动部件，检测导向驱动部件用以驱动直线度复测装置对晶圆进行竖直往复移动检测；晶圆承载及翻转组件包括晶圆承载吸附架和翻转导向驱动部件，翻转导向驱动部件彼此联动并驱动晶圆承载吸附架以完成晶圆水平上料状态与竖直检测状态、正面检测状态与背面检测状态的切换并带动晶圆进行水平往复移动检测，实现晶圆正背面缺陷的自动化检测从而提升检测效率，同时采用晶圆竖直状态检测从而排除晶圆水平检测状态时因重力导致中部下凹产生的干扰因素进而保证检测结果的准确性。

本实用新型一种晶圆竖直缺陷检测装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆竖直缺陷检测装置，其特征在于，包括： 设备骨架1，其包括底座11和立柱12，所述立柱12设置于所述底座11上； 晶圆检测组件2，其包括直线度复测装置21、检测导向驱动部件22和转接架23，所述检测导向驱动部件22设置于所述立柱12的立面，所述直线度复测装置21通过所述转接架23设置于所述检测导向驱动部件22上并由所述检测导向驱动部件22带动进而沿所述检测导向驱动部件22作Z向竖直往复运动，所述直线度复测装置21包括取像模块212； 晶圆承载及翻转组件3，其架设于所述底座11上，所述晶圆承载及翻转组件3包括晶圆承载吸附架31和翻转导向驱动部件32，所述晶圆承载吸附架31为环形，所述翻转导向驱动部件32包括圆形直驱电机Θ轴321、圆形直驱电机T轴322、直驱电机X轴323、直驱电机Y轴324，所述直驱电机Y轴324设置于所述底座11上，所述直驱电机X轴323设置于所述直驱电机Y轴324上并由所述直驱电机Y轴324带动沿所述直驱电机Y轴324作Y向水平往复运动，所述圆形直驱电机T轴322设置于所述直驱电机X轴323上并由所述直驱电机X轴323带动沿所述直驱电机X轴323作X向水平往复运动，所述圆形直驱电机Θ轴321架设于所述圆形直驱电机T轴322上并由所述圆形直驱电机T轴322带动沿所述圆形直驱电机T轴322作水平旋转运动，所述晶圆承载吸附架31连接于所述圆形直驱电机Θ轴321并由所述圆形直驱电机Θ轴321带动绕所述圆形直驱电机Θ轴321做竖直旋转运动。

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