中能兴盛(香河)半导体精密制造有限公司李再兴获国家专利权
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龙图腾网获悉中能兴盛(香河)半导体精密制造有限公司申请的专利一种多坩埚晶体生长炉获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223316815U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-09发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422292782.2,技术领域涉及:C30B15/10;该实用新型一种多坩埚晶体生长炉是由李再兴;李端科;李浩毅;王剑刚设计研发完成,并于2024-09-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种多坩埚晶体生长炉在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种多坩埚晶体生长炉,本实用新型涉及晶体生长炉技术领域,包括基座,所述基座的顶部设置有炉体机构用于对坩埚进行加热操作。该多坩埚晶体生长炉,通过第一电机和电动推杆的相互配合,使金属置换板将两边的磁性坩埚托进行位置互换,再通过启动第二电机带动外金属圆板旋转,将下一个外金属圆板上的磁性坩埚托移动到方便金属置换板抓取的位置,同时,将下一个内金属圆板上的磁性坩埚托也移动到方便金属置换板抓取的位置,重复置换步骤,从而可以完成所有的坩埚置换,解决了坩埚温度较高,不方便及时取出的问题,并且在取出坩埚的同时,又放置了新的坩埚,从而大大提高了工作效率。
本实用新型一种多坩埚晶体生长炉在权利要求书中公布了:1.一种多坩埚晶体生长炉,包括基座1,其特征在于:所述基座1的顶部设置有炉体机构2用于对坩埚进行加热操作,所述基座1的顶部位置炉体机构2右侧的位置设置有换料机构3用于对坩埚进行上料或下料操作,所述换料机构3包括: 置换组件31,设置于基座1的顶部,所述置换组件31包括固定安装在基座1顶部的电动推杆311,所述电动推杆311的伸缩端固定安装有固定架312,所述固定架312的内顶部固定安装有第一电机313,所述第一电机313的输出端活动贯穿固定架312的内顶部并延伸至上方,所述第一电机313的输出端固定安装有金属置换板314,所述金属置换板314的外表面对称开设有卡槽315; 放置组件32,设置于基座1的顶部。
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