西安电子科技大学王勇获国家专利权
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龙图腾网获悉西安电子科技大学申请的专利一种基于对称性破缺的MXene建立可重构场效应晶体管的方法及其应用获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119698159B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-09发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411334859.6,技术领域涉及:H10K10/46;该发明授权一种基于对称性破缺的MXene建立可重构场效应晶体管的方法及其应用是由王勇;吴亦章;杨定怡;王咏梅;张瑜;郝跃设计研发完成,并于2024-09-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种基于对称性破缺的MXene建立可重构场效应晶体管的方法及其应用在说明书摘要公布了:本发明公开了一种基于对称性破缺的MXene建立可重构场效应晶体管的方法及其应用,通过采用等离子刻蚀工艺氧化晶体管基底表面的MXene薄膜,使得MXene薄膜表面生成锐钛矿二氧化钛颗粒,得到具有对称性破缺的MXene基底,记为OXene层,然后将P3HT涂敷到OXene层上形成P‑N结,促使P型半导体中的电子定向转移到N型半导体上,提高了P型晶体管的电流开关比,且在60s的氧化处理后晶体管的开关比达到最大,并趋于稳定;本发明制备的晶体管能够应用到逆变器,与非门电路,以及或非门电路上。
本发明授权一种基于对称性破缺的MXene建立可重构场效应晶体管的方法及其应用在权利要求书中公布了:1.一种基于对称性破缺的MXene建立可重构场效应晶体管的方法,其特征在于,包括如下步骤: 步骤1:采用化学气相输运工艺在单面抛光的硅衬底上沉积,得到厚度10~20μm的二甲苯CParyleneC基底;然后采用等离子蚀刻工艺对二甲苯CParyleneC基底进行表面功能化改性,去掉表面疏水基团,得到改性后的二甲苯C基底; 步骤2:将浓度为3.5~5mgml明胶Gelatin水溶液旋涂到步骤1得到的改性后的二甲苯CParyleneC基底上;然后将涂有明胶的二甲苯CParyleneC基底烘干;接着将浓度为5~20mgml的MXene水溶液旋涂到烘干后涂有明胶的二甲苯CParyleneC基底上,然后进行热固化,得到具有MXene薄膜的二甲苯C基底; 步骤3:使用近红外激光在步骤2中具有MXene薄膜的二甲苯C基底上进行图案化,刻画出具有逻辑电路的MXene薄膜,形成晶体管基底; 步骤4:采用等离子蚀刻工艺在步骤3中的晶体管基底上进行氧等离子蚀刻,使得MXene薄膜表面生成锐钛矿二氧化钛颗粒,得到具有对称性破缺的MXene基底,记为OXene层; 步骤5:将P型半导体溶液旋涂到步骤4得到的OXene层上,得到晶体管的P型半导体层;采用阴影掩模对晶体管的P型半导体层进行图案化;随后进行退火处理; 步骤6:将PVDF-HFP、EMI-TFSA和丙酮混合搅拌,得到晶体管的离子电介质溶液;按重量比计,所述PVDF-HFP:EMI-TFSA:丙酮=1~2:3~4:4~7; 步骤7:将步骤6中得到晶体管的离子电介质溶液倒在干净的玻璃基板上,待其凝固后,得到厚度为200~400μm的离子凝胶; 步骤8:将步骤7得到的离子凝胶切成条状,作为电介质层被层压在步骤5得到的晶体管的P型半导体层上,最终得到基于对称性破缺的MXene建立的可重构场效应晶体管。
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