合肥芯投微电子有限公司陈洋获国家专利权
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龙图腾网获悉合肥芯投微电子有限公司申请的专利一种可感应触发真空的吸笔获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223321253U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-09发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422516083.1，技术领域涉及：H01L21/683；该实用新型一种可感应触发真空的吸笔是由陈洋;周普;刘志钢;吴瑞;杨永;孙乔凤;金春雷设计研发完成，并于2024-10-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种可感应触发真空的吸笔在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种可感应触发真空的吸笔，涉及真空吸附装置技术领域。具体包括：真空吸笔本体，可产生负压吸力；第一位置传感器，连接于所述真空吸笔本体，用于检测晶圆位置；第二位置传感器，连接于所述真空吸笔本体，并与所述第一位置传感器沿所述真空吸笔的长度方向相对设置，以在第一位置传感器和第二位置传感器之间形成检测区；以及控制单元，当所述晶圆的边界位于所述第一位置传感器和第二位置传感器之间时，控制单元控制所述真空吸笔本体产生负压吸力。保证真空吸笔能准确的吸附在晶圆的中心位置，降低晶圆掉落或损坏的风险。
本实用新型一种可感应触发真空的吸笔在权利要求书中公布了：1.一种可感应触发真空的吸笔，其特征在于，包括： 真空吸笔本体，可产生负压吸力； 第一位置传感器，连接于所述真空吸笔本体，用于检测晶圆位置； 第二位置传感器，连接于所述真空吸笔本体，并与所述第一位置传感器沿所述真空吸笔的长度方向相对设置，以在第一位置传感器和第二位置传感器之间形成检测区；以及 控制单元，当所述晶圆的边界位于所述第一位置传感器和第二位置传感器之间时，控制单元控制所述真空吸笔本体产生负压吸力。
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